高压SOI工艺SCR ESD保护器件研究

发布时间：2018-11-28 17:45

【摘要】：针对ESD保护器件SCR的维持电压和触发电压难以调整的问题,设计了一种SCR版图形式,这种新型的SCR版图形式可以将维持电压和触发电压进行最优化的调整,同时不改变原有的高压工艺的特点。从而解决了在高压ESD保护领域,使用SCR做ESD保护器件容易引入闩锁效应的问题,是目前高压ESD保护领域较好的解决方案。
[Abstract]:In order to solve the problem that the maintenance voltage and trigger voltage of ESD protection device SCR are difficult to adjust, a SCR layout form is designed. This new SCR layout form can optimize the adjustment of maintenance voltage and trigger voltage. At the same time, it does not change the characteristics of the original high-pressure process. In the field of high voltage ESD protection, it is easy to introduce latch effect by using SCR as ESD protection device. It is a better solution in the field of high voltage ESD protection.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第58研究所;
【分类号】：TN34

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本文编号：2363741