高成品率DFB激光二极管的设计及制备

发布时间：2018-12-12 02:10

【摘要】：设计并制作了一种新型分布反馈(DFB)光栅激光二极管结构。采用传输矩阵法模拟得到了不同光栅耦合因子、不同结构下随机相位对归一化阈值增益差和性能参数分布的影响;对高于阈值增益情况下激光二极管的特性进行了分析,结果表明随着激光二极管偏置电流的增加,光场平坦因子和归一化阈值增益差几乎保持不变,激光二极管单模稳定性好;模拟得到了光谱随偏置电流的变化,不同偏置电流下光谱的边模抑制比均大于40 dB。采用全息光刻技术结合普通光刻技术制备了新型DFB光栅。相比于均匀光栅激光二极管,新型DFB光栅激光二极管性能参数一致性更好、成品率更高,成品率达到80%以上。
[Abstract]:A novel distributed feedback (DFB) grating laser diode structure is designed and fabricated. The effects of different grating coupling factors and different structures on the normalized threshold gain difference and the distribution of performance parameters are simulated by using the transfer matrix method. The characteristics of laser diode above threshold gain are analyzed. The results show that the optical field flatness factor and normalized threshold gain difference are almost unchanged with the increase of bias current of laser diode, and the single-mode stability of laser diode is good. The simulation results show that the spectrum varies with the bias current, and the side mode rejection ratio of the spectrum is more than 40 dB. under different bias currents. A new type of DFB grating was fabricated by holographic lithography and ordinary lithography. Compared with the uniform grating laser diode, the new DFB grating laser diode has better consistency of performance parameters, higher yield and more than 80% yield.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第十三研究所;
【分类号】：TN31

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本文编号：2373694