基于甲烷气体红外吸收特性窄带滤波器的研究

发布时间：2019-02-25 08:03

【摘要】：根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用"拆分技术"对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669μm波长处峰值透过率达到85.14%,通带半宽度为59nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声.
[Abstract]:According to the sensitivity requirement of the gas detection system and the infrared absorption spectrum characteristics of methane gas, the technical parameters of the filter are determined according to the technological experience. The membrane structure of gas filter is designed by "split technique", which reduces the stress produced by the film layer. The film was deposited by electron beam heating, and the process parameters were optimized by reverse analysis based on the test results. The filter has a peak transmittance of 85.14 at the wavelength of 7.669 渭 m and a half-width of 59nm, covering the absorption region of methane gas. The cut-off region is OD3, to suppress the background noise well.
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【基金】：吉林省重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助~~
【分类号】：TN713

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本文编号：2429968