单晶硅非球面超精密磨削砂轮的性能参数优选

发布时间：2019-02-25 08:22

【摘要】：针对轴对称单晶硅非球面超精密磨削中砂轮选择的问题,依据单晶硅红外非球面透镜的结构特性,对几种典型碟片砂轮的结构特性和磨损特性进行分析,优选圆弧形金刚石砂轮作为垂直磨削法磨削单晶硅非球面透镜用砂轮。通过磨削加工实验,研究砂轮各性能参数对非球面磨削加工质量(表面粗糙度、表面形貌、亚表层损伤厚度、面形精度)的影响,优选出D64粒度金刚石砂轮为单晶硅非球面粗磨用砂轮,浓度号为C100、截面圆弧半径为6 mm、粒度为D3的金刚石砂轮作为单晶硅非球面精磨用砂轮。
[Abstract]:In order to solve the problem of grinding wheel selection in axisymmetric monocrystalline silicon aspheric ultraprecision grinding, the structural and wear characteristics of several typical disc grinding wheels are analyzed according to the structural characteristics of infrared aspheric lens of monocrystalline silicon. The circular arc diamond grinding wheel is used as the grinding wheel for grinding monocrystalline silicon aspherical lens by vertical grinding method. Through grinding experiments, the effect of grinding wheel performance parameters on aspheric surface grinding quality (surface roughness, surface morphology, subsurface damage thickness, surface shape accuracy) was studied. The diamond grinding wheel with D64 particle size is chosen as the grinding wheel of monocrystalline silicon aspherical surface, the concentration number is C100, and the arc radius of section is 6 mm,. The diamond wheel with D3 particle size is used as the grinding wheel of single crystal silicon aspherical finish grinding.
【作者单位】： 湖南科技大学智能制造研究院难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室;哈尔滨工业大学机电工程学院;
【基金】：湖南科技大学博士启动基金(E56118)
【分类号】：TN304.12

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本文编号：2429987