飞秒光刻铌酸锂光子芯片:架起“光”与“脑”的桥梁

发布时间：2021-09-04 22:31

　　<正>借鉴大规模集成电路技术的成功经验,将光子器件微型化、集成化,实现高性能的光子集成芯片是未来信息领域发展的方向。在众多光学材料中,铌酸锂晶体具备透明窗口宽、本征损耗低、非线性系数高等优异的光学性能和很高的电光系数,是制作光子集成芯片极好的候选材料。我们利用飞秒激光光刻辅助化学机械抛光技术初步实现了高品质铌酸锂光子结构的制备与集成。该领域的持续发展将推动铌酸锂光子器件在人工智能、高速信息处理、精密测量等领域中的重要应用。 

【文章来源】：量子电子学报. 2020,37(01)北大核心CSCD

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本文编号：3384126