键合参数对Ag-5Au键合合金线无空气焊球及键合强度影响研究

发布时间：2021-12-19 01:07

　　利用自动焊线机、推拉力测试仪、扫描电镜等研究了烧球电流、烧球时间、超声功率和键合压力对Ag-5Au键合合金线FAB（Free Air Ball）特性及键合强度的影响。研究结果表明当烧球时间为750μs,烧球电流为2 600 mA时FAB球形成椭圆形,烧球电流为2 800 mA时FAB出现高尔夫球;烧球电流为2 700 mA,烧球时间为700μs时FAB偏小,烧球时间为800μs时FAB偏大;当烧球时间为750μs烧球电流为2 700 mA时FAB形貌良好。当超声功率为85 mW键合压力为65 g时造成焊盘的损坏;超声功率为50 mW键合压力为35 g时出现假焊;超声功率为60 mW键合压力为45 g时键合强度良好。 

【文章来源】：功能材料. 2020,51(10)北大核心CSCD

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

EFO电流参数分析

EFO时间参数分析

图2 EFO时间参数分析键合过程中,超声功率和键合压力通过劈刀施加在键合线上,使得键合线与焊盘紧密接触,在超声的作用下键合引线与焊盘表面产生高频振动,从而清除线材与焊盘表面的污染物,同时,键合线在超声作用下内部产生大量位错,进而实现键合引线与基板之间产生快速扩散通道。当第一焊点超声功率为50 mW,键合压力为35 g时,不能产生足够的能量和压力,键合线和焊盘表面的污染物和氧化物也不能彻底破坏,键合线内部的位错量增加不足,进而影响了金属原子的相互扩散,导致球焊点推力低。当第一焊点超声功率为85 mW,键合压力为65 g,过大的压力使得无空气焊球形变量过大,进而溢出焊盘,导致器件失效。

【参考文献】：
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本文编号：3543493