基于酞菁钛二氯有机薄膜晶体管的制备与研究
发布时间:2021-12-28 16:46
本文重点研究了一种轴向取代酞菁材料:酞菁钛二氯(Ti Cl2Pc),在已报道的文献中未见其应用于TFT器件,因此本文将Ti Cl2Pc作为有源层材料应用到有机薄膜晶体管器件的制备当中。同时针对在制备Ti Cl2Pc OTFT时存在的有源层与绝缘层界面缺陷多而导致晶体管迁移率下降的问题,通过对有源层与绝缘层的界面进行有机硅烷试剂修饰和弱外延生长的方法来改善有机薄膜的生长行为,进而提高有机薄膜的质量以及OTFT器件的电学性能。首先研究了有机硅烷试剂修饰对Ti Cl2Pc OTFT器件性能与薄膜形貌的影响:采用十八烷基三氯硅烷(OTS)试剂对Si O2绝缘层表面进行了修饰,对修饰后的Ti Cl2Pc OTFT与未被修饰的Ti Cl2Pc OTFT进行了I-V特性测试以及原子力形貌表征测试。实验结果表明经OTS修饰后的Ti Cl2Pc OTFT器件性能明显提升。并且经OTS修饰后的Ti Cl2Pc薄膜与未经修饰的Ti Cl2Pc薄膜相比,薄膜表面更为平整连续,表面缺陷更少,晶粒尺寸更大,更有利于载流子的产生与传输。其次研究了弱外延生长对Ti Cl2Pc OTFT器件性能与薄膜形貌的影响:采用有...
【文章来源】:长春理工大学吉林省
【文章页数】:57 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
图1.1双层异质结结构的双极型OTFT结构示意图
酞菁的分子结构:a)无金属酞菁b)金属酞菁
弱外延生长示意图
【参考文献】:
期刊论文
[1]纳米颗粒复合介电层柔性有机薄膜晶体管的制备与性能研究[J]. 张自童,陈达贵,陈雄,王永净. 人工晶体学报. 2019(12)
[2]基于复合绝缘层SiNx/PMMA的有机金属-绝缘层-半导体器件[J]. 谢强,闫闯,朱阳阳,孙强,王璐,王丽娟,孙丽晶. 发光学报. 2019(06)
[3]基于有机薄膜晶体管与有机电化学晶体管的生物传感器研究进展[J]. 冯晓倩,顾文,张霞,蒋浩. 材料导报. 2019(07)
[4]柔性电子标签(RFID)在新型安防领域中的应用研究[J]. 李盛,李红俊,佘汶荻,唐玲. 中国新技术新产品. 2019(06)
[5]双异质诱导层对红荧烯薄膜晶体管性能的影响[J]. 孙洋,闫闯,谢强,史超,张梁,王丽娟,孙丽晶. 高等学校化学学报. 2018(06)
[6]高性能顶栅结构有机薄膜晶体管[J]. 洪飞,谭莉,朱棋锋,向长江,韩学斌,张其国,郭晓东,申剑锋. 液晶与显示. 2012(03)
[7]绝缘层/有源层界面修饰及对有机薄膜晶体管性能的影响[J]. 陈玲,朱文清,白钰,刘向,蒋雪茵,张志林. 半导体学报. 2007(10)
[8]有机电致发光与有机半导体的发展[J]. 张志林. 现代显示. 2006(11)
硕士论文
[1]基于有机薄膜晶体管的射频识别标签电路[D]. 宫玉昕.山东大学 2019
[2]基于Pentacene的薄膜晶体管的制备及其性能研究[D]. 匡鹏.电子科技大学 2018
本文编号:3554393
【文章来源】:长春理工大学吉林省
【文章页数】:57 页
【学位级别】:硕士
【部分图文】:
图1.1双层异质结结构的双极型OTFT结构示意图
酞菁的分子结构:a)无金属酞菁b)金属酞菁
弱外延生长示意图
【参考文献】:
期刊论文
[1]纳米颗粒复合介电层柔性有机薄膜晶体管的制备与性能研究[J]. 张自童,陈达贵,陈雄,王永净. 人工晶体学报. 2019(12)
[2]基于复合绝缘层SiNx/PMMA的有机金属-绝缘层-半导体器件[J]. 谢强,闫闯,朱阳阳,孙强,王璐,王丽娟,孙丽晶. 发光学报. 2019(06)
[3]基于有机薄膜晶体管与有机电化学晶体管的生物传感器研究进展[J]. 冯晓倩,顾文,张霞,蒋浩. 材料导报. 2019(07)
[4]柔性电子标签(RFID)在新型安防领域中的应用研究[J]. 李盛,李红俊,佘汶荻,唐玲. 中国新技术新产品. 2019(06)
[5]双异质诱导层对红荧烯薄膜晶体管性能的影响[J]. 孙洋,闫闯,谢强,史超,张梁,王丽娟,孙丽晶. 高等学校化学学报. 2018(06)
[6]高性能顶栅结构有机薄膜晶体管[J]. 洪飞,谭莉,朱棋锋,向长江,韩学斌,张其国,郭晓东,申剑锋. 液晶与显示. 2012(03)
[7]绝缘层/有源层界面修饰及对有机薄膜晶体管性能的影响[J]. 陈玲,朱文清,白钰,刘向,蒋雪茵,张志林. 半导体学报. 2007(10)
[8]有机电致发光与有机半导体的发展[J]. 张志林. 现代显示. 2006(11)
硕士论文
[1]基于有机薄膜晶体管的射频识别标签电路[D]. 宫玉昕.山东大学 2019
[2]基于Pentacene的薄膜晶体管的制备及其性能研究[D]. 匡鹏.电子科技大学 2018
本文编号:3554393
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