飞秒激光在单模光纤中精密加工微孔及其传感应用

发布时间：2021-12-29 20:57

　　利用飞秒激光油液辅助的加工方式,在单模光纤端面附近制作出20μm直径的精密柱形微孔。利用微孔与光纤端面形成了具有明显光拍和游标效应的法布里-珀罗传感器,实现了对环境参数的测量。实验结果显示了传感器对外界温度、湿度、折射率以及气压具有较好的线性响应,传感器具有-0.0669dB/℃的低温灵敏度、0.74nm/%RH的湿度灵敏度、6.5nm/RIU的折射率灵敏度、12.23pm/℃的高温灵敏度以及1.743dB/MPa的气压灵敏度。该传感器具有制作简单、性能稳定、结构紧凑等优点。 

【文章来源】：激光与光电子学进展. 2020,57(11)北大核心CSCD

【文章页数】：7 页

【部分图文】：

柱形微孔显微图。（a）单孔侧面图；（b）单孔顶部图；（c)2孔侧面图；（d)2孔顶部图

传感器光路示意图

传感器反射光谱。（a)L=70,80,90μm;(b)L=80μm

【参考文献】：
期刊论文
[1]飞秒激光制作的光纤高温和折射率传感器[J]. 董航宇,刘昌宁,孙四梅,江超,张傲岩,胡荟灵,王解.  激光与光电子学进展. 2019(17)
[2]基于Vernier效应的法布里-珀罗传感器增敏方法[J]. 刘燕燕,刘磊,刘雪强,王燕涛,张鑫,王明君,齐跃峰.  光学学报. 2019(04)
[3]基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器[J]. 姜源,江毅,张柳超,王素梅.  激光与光电子学进展. 2019(10)
[4]基于游标效应的增敏型光纤法布里-珀罗干涉仪温度传感器[J]. 杨易,徐贲,刘亚铭,李萍,王东宁,赵春柳.  物理学报. 2017(09)
[5]飞秒激光成丝制备毫米级深孔[J]. 张艳杰,宋海英,刘海云,刘勋,李维,刘世炳.  中国激光. 2017(04)
[6]Liquid refractive index sensor based on polymer fiber with micro-holes created by femtosecond laser[J]. 董文超,韦珏,王学海,康智慧,徐晓峰.  Chinese Optics Letters. 2014(09)
[7]飞秒激光制备光纤微孔传感器[J]. 柏玲,赵秀丽,刘一,曲士良,李岩.  激光技术. 2013(01)



本文编号：3556858