溶液法制备IGZO及IZO薄膜工艺的研究
发布时间：2021-12-30 01:43
近几年来,由于高分辨率平板显示器,传感器以及大面积柔性电子器件的盛行,使得透明氧化物薄膜晶体管（TFT）越来越成为研究热点。其中具有明显优势的为非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管（a-IGZO TFT）。a-IGZO材料作为TFT有源层结构,与传统多晶硅材料相比,具有较高的迁移率(一般大于10 cm2V-1s-1)、良好的均一性、高透光率以及适应于低温制备等优点。溶液法是实现廉价和低温制备大面积a-IGZO薄膜的重要方法之一。溶液法制备a-IGZO薄膜与磁控溅射等真空工艺制备方法相比具有低温,大面积制备等优点。本文所研究的IGZO及IZO薄膜即为溶液法制备所得。本文主要研究了相同退火温度下,不同退火气氛及压强处理对溶液法制备IGZO薄膜表面形貌结构与光学特性的影响及不同退火温度对IZO薄膜和IGZO/IZO薄膜光学特性的影响。论文的主要内容归纳如下。（1）简要介绍了IGZO及IZO薄膜的结构与导电机制;分析了不同薄膜制备工艺中,溶液法制备薄膜的优点;概述了表征薄膜特性的基本模型如:柯西（Cauchy）模型、Bruggeman有效...
【文章来源】：江南大学江苏省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：53 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
a-IGZOTFT器件结构与实物图
江南大学硕士学位论文 IGZO TFT 及 IZO TFT 国内外研究进展显示技术的要求越来越高，金属氧化物渐渐替代传统 a-Si。2015 年全世界智能售数量达到了 18.2 亿部，其中金属氧化物(材料为 IGZO)TFT LCD 屏幕占%，且需求量会逐年提高。金属氧化物半导体与低温多晶硅技术 LTPSperature Poly-silicon)相比，金属氧化物半导体的分辨率较低，但其良品率远远S。夏普最近新推出的 Aquos 手机的分辨率达到 1080 P，将近 500 PPI，而三星7/S7 Edge 超过 500 PPI，最高达 576 PPI。虽然以 IGZO TFT 为有源矩阵开关制器分辨率较低，但是人眼视觉分辨率最高仅为 326 PPI，因此 IGZO 薄膜材料不会影响视觉效果。IGZO 良品率可做到 80%，最高可达 95%，与 LTPS 相比的优势。近些年来，夏普被鸿海收购，苹果手机也将开始采用 IGZO 屏幕。鸿作伙伴-苹果公司的最大代工厂，在收购夏普基础上，苹果可通过夏普先进的来对抗三星。图 1-2 为 2004-2014 年，国际上关于 IGZO 及 IZO 学术发展情况
TFT结构示意图
【参考文献】：
期刊论文
[1]氧化物薄膜晶体管研究进展[J]. 兰林锋,张鹏,彭俊彪. 物理学报. 2016(12)
[2]氧对IZO低压无结薄膜晶体管稳定性的影响[J]. 张耕铭,郭立强,赵孔胜,颜钟惠. 物理学报. 2013(13)
[3]IGZO-TFT技术:未来大尺寸平板显示应用发展的助推器[J]. 王莉红,覃正才. 集成电路应用. 2013(05)
[4]溶胶凝胶法制备透明IZO薄膜晶体管[J]. 信恩龙,李喜峰,张建华. 发光学报. 2013(02)
[5]椭圆偏振光谱法教学中的解谱建模渗透[J]. 曹春斌,孙兆奇,宋学萍. 大学物理. 2010(06)
[6]薄膜材料的椭圆偏振数据分析方法[J]. 李威,金承钰. 光谱实验室. 2010(01)
硕士论文
[1]溶液法制备IGZO薄膜及其性能的研究[D]. 邹春晖.江南大学 2016
[2]关于氮氧锌薄膜晶体管技术研究[D]. 马焱源.电子科技大学 2016
本文编号：3557231
【文章来源】：江南大学江苏省 211工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：53 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
a-IGZOTFT器件结构与实物图
江南大学硕士学位论文 IGZO TFT 及 IZO TFT 国内外研究进展显示技术的要求越来越高，金属氧化物渐渐替代传统 a-Si。2015 年全世界智能售数量达到了 18.2 亿部，其中金属氧化物(材料为 IGZO)TFT LCD 屏幕占%，且需求量会逐年提高。金属氧化物半导体与低温多晶硅技术 LTPSperature Poly-silicon)相比，金属氧化物半导体的分辨率较低，但其良品率远远S。夏普最近新推出的 Aquos 手机的分辨率达到 1080 P，将近 500 PPI，而三星7/S7 Edge 超过 500 PPI，最高达 576 PPI。虽然以 IGZO TFT 为有源矩阵开关制器分辨率较低，但是人眼视觉分辨率最高仅为 326 PPI，因此 IGZO 薄膜材料不会影响视觉效果。IGZO 良品率可做到 80%，最高可达 95%，与 LTPS 相比的优势。近些年来，夏普被鸿海收购，苹果手机也将开始采用 IGZO 屏幕。鸿作伙伴-苹果公司的最大代工厂，在收购夏普基础上，苹果可通过夏普先进的来对抗三星。图 1-2 为 2004-2014 年，国际上关于 IGZO 及 IZO 学术发展情况
TFT结构示意图
【参考文献】：
期刊论文
[1]氧化物薄膜晶体管研究进展[J]. 兰林锋,张鹏,彭俊彪. 物理学报. 2016(12)
[2]氧对IZO低压无结薄膜晶体管稳定性的影响[J]. 张耕铭,郭立强,赵孔胜,颜钟惠. 物理学报. 2013(13)
[3]IGZO-TFT技术:未来大尺寸平板显示应用发展的助推器[J]. 王莉红,覃正才. 集成电路应用. 2013(05)
[4]溶胶凝胶法制备透明IZO薄膜晶体管[J]. 信恩龙,李喜峰,张建华. 发光学报. 2013(02)
[5]椭圆偏振光谱法教学中的解谱建模渗透[J]. 曹春斌,孙兆奇,宋学萍. 大学物理. 2010(06)
[6]薄膜材料的椭圆偏振数据分析方法[J]. 李威,金承钰. 光谱实验室. 2010(01)
硕士论文
[1]溶液法制备IGZO薄膜及其性能的研究[D]. 邹春晖.江南大学 2016
[2]关于氮氧锌薄膜晶体管技术研究[D]. 马焱源.电子科技大学 2016
本文编号：3557231
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