亚稳相VO 2 (B)热敏电阻低频噪声研究

发布时间：2023-02-12 08:41

　　红外探测器自问世以来一直是军事领域的焦点,二十世纪九十年代非制冷红外焦平面探测器的出现更是引起军事装备的进一步升级,在单兵作战方面尤为突出。随着应用的普及,以非制冷红外焦平面探测器为核心的红外成像设备在公共安全、工业、医学等领域的作用也越来越突出,其市场的不断扩大引起越来越多的关注。本文的工作内容是制备出性能优良的亚稳相二氧化钒(VO₂(B))材料,以应用于非制冷红外焦平面探测器的像元热敏电阻材料。工业生产中VO_x的成分较为复杂不易控制,而成熟工艺下VO₂(B)材料的成分单一,组分确定。VO₂(B)材料的电阻温度系数(TCR)较大、方阻值适中,且在工作温度范围内没有类似VO₂(M)/VO₂(R)的相变,1/f噪声系数良好,很适合作为像元部分的热敏材料。本论文的主要工作内容如下:(1)在沉积氮化硅的硅片表面使用磁控溅射法原位沉积VO₂(B)薄膜,沉积的薄膜无需进行退火步骤。(2)使用XRD、SEM、Raman光谱仪测试VO_2<...

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【学位级别】：硕士

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摘要
Abstract
1 绪论
    1.1 课题的背景
    1.2 二氧化钒热敏薄膜
    1.3 热敏电阻低频噪声介绍
    1.4 本课题研究意义与主要研究内容
2 VO₂薄膜的制备及表征分析方法
    2.1 VO₂薄膜的制备方法
    2.2 VO₂薄膜的表征分析方法
    2.3 本章小结
3 VO₂(B)薄膜的制备与性能测试
    3.1 实验方案
    3.2 VO₂(B)薄膜样品制备
    3.3 VO₂(B)薄膜的表征与分析
    3.4 本章小结
4 VO₂(B)薄膜电阻器件的制备
    4.1 VO₂(B)薄膜电阻的图形设计及光刻
    4.2 EBE蒸镀金属电极
    4.3 金属剥离(lift-off)
    4.4 VO₂(B)薄膜电阻管壳封装
    4.5 本章小结
5 VO₂B薄膜电阻低频噪声测试及结果分析
    5.1 低频噪声的理论模型
    5.2 低频噪声的测试方法
    5.3 测试结果分析
    5.4 本章小结
6 总结与展望
致谢
参考文献
附录 攻读学位期间发表的论文



本文编号：3740763