熔石英光学元件的CO 2 激光加工技术研究新进展

发布时间：2024-05-20 03:25

　　熔石英元件是一种典型的硬脆性且难加工的材料,在传统机械加工中的加工效率极低,并且加工过程中引入的机械弱化层,严重影响了熔石英元件在强冲击、高载荷、高能量环境下的使用寿命。和传统机械加工方法相比,CO₂激光加工技术的优点在于可实现非接触式加工,并且去除精度高和去除效率高。尤其重要的是,CO₂激光加工后的熔石英光学元件无表面/亚表面裂纹、划痕等缺陷,使得CO₂激光加工技术在熔石英元件的加工中得到了重要且广泛的应用。因此,从熔石英元件的CO₂激光加工理论、大口径器件CO₂激光加工工艺、局部区域CO₂激光损伤修复,以及表面微结构加工4个方面出发,对熔石英光学元件的CO₂激光加工技术研究现状进行综述,重点分析了CO₂激光加工技术在熔石英元件大口径器件/局部区域加工的工艺水平现状以及微结构加工的应用现状,并探讨了CO₂激光加工过程中引入的负面效应以及仍需解决的问题,希望为推动CO₂...

【文章页数】：17 页

【文章目录】：
0前言
1 熔石英元件的CO2激光加工理论
    1.1 表面温度场分布
    1.2 表面融熔流动
    1.3 表面蒸发去除
2 熔石英元件的大口径器件加工工艺
    2.1 激光成形
    2.2 激光融熔
    2.3 激光修形
3 熔石英元件的局部区域损伤修复
    3.1 材料改性
    3.2 局部区域点损伤修复
    3.3 局部区域划痕损伤修复
    3.4 局部区域损伤增材修复
4 熔石英元件的表面微结构加工
    4.1 微流体通道加工
    4.2 微阵列透镜加工
    4.3 锥透镜加工
    4.4 光纤结构加工
    4.5 全息结构加工
    4.6 周期性表面结构加工
5 结论



本文编号：3978884