我国集成电路制造最新态势及未来展望

发布时间：2017-06-02 10:34

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【摘要】：放眼全球,集成电路制造工艺的升级速度却依然未减,新材料、新器件、新工艺的产业化进程尚未真正来临。"十三五"期间,在坚持以FinFET为代表的先进工艺技术升级的同时,还需积极拓展新兴应用市场,以实现我国集成电路产业的做大做强。
【作者单位】： 中国信息通信研究院;
【关键词】： 摩尔定律 制造工艺 集成电路
【分类号】：F426.63
【正文快照】： 制造工艺是我国集成电路发展的基础,2014年《国家集成电路产业发展推进纲要》中明确规定十三五期末我国需实现16/14 nm的规模量产,随后成立的国家集成电路产业基金也重点对制造环节重点倾斜,以中芯国际为代表的国内制造企业将从中受益并迎来高速发展期。目前集成电路制造工艺

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