利用光栅提高红外非制冷热探测器效率的研究

发布时间：2017-07-05 09:01

  本文关键词：利用光栅提高红外非制冷热探测器效率的研究

  更多相关文章： 非致冷 红外 探测器 等离子体谐振 光栅 结构优化

【摘要】：非制冷探测器的制备,最常用的方法是通过微机械加工在CMOS读出电路上制作悬桥来实现。传感器将吸收的热量转化为电压信号或电流信号变化由检测电路检出,但该结构吸收效率偏低。本研究提出了一种基于表面等离子体谐振吸收的红外探测器结构。分析了光栅及器件结构参数对红外光学吸收的影响,采用COMSOL软件仿真,研究了金属-介质-金属三明治结构红外探测器的吸收效率,并通过结构参数的优化使吸收结构对特定红外波段的吸收率达到98%以上,在整个波长范围内平均吸收效率达30.5%。
【作者单位】： 渤海大学新能源学院;
【关键词】： 非致冷 红外 探测器 等离子体谐振 光栅 结构优化
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.11304020)
【分类号】：TN215
【正文快照】： 非制冷热成像探测器阵列的研究于20世纪60年代被提出,并于20世纪70年代末进入迅速发展阶段。在过去的几年内,非制冷红外焦平面技术得到了飞速发展,并在军事、商业和民事中得到成功应用。非制冷热成像探测阵列的使用使得整个红外热成像系统省去了复杂的制冷系统,成本大大降低,

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 张培琨,李育林,刘家英,乔学光,忽满利,贾宏志;线性啁啾光栅结构参数优化的定量研究方法[J];光子学报;1998年06期

2 吴建宏,陈家璧,唐敏学,吴中林;随机光栅定向散射器的设计[J];光电子·激光;2001年10期

3 卢向东,傅克祥,王植恒,麻建勇;椭偏法测光栅参数的可行性理论研究[J];激光杂志;2003年01期

4 陈德伟;;采样光栅设计与衍射行为分析[J];激光杂志;2006年03期

5 叶超;谢永军;付绍军;何世平;;采用弹性基底制作变间距光栅[J];微细加工技术;2006年02期

6 叶锡标;周成刚;张阳;黄文浩;;基于透反式二维绝对零位光栅的光刻对准技术[J];中国科学技术大学学报;2007年03期

7 叶燕;陈林森;;埋入式光栅双通道特性及其应用研究[J];光学学报;2008年12期

8 沈洪斌;张雏;司宾强;;基于狭缝方程的二次扭曲光栅的设计与衍射模拟[J];激光杂志;2008年02期

9 方明月;段永远;谌夏;彭姝慧;蒲利春;;非线性光栅器件[J];重庆工学院学报(自然科学版);2008年03期

10 刘荣祁;陈建荣;林宝卿;庄其仁;;浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法[J];应用激光;2009年03期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 刘恒彪;王占山;;纳米光栅结构长度标准研制[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

2 耿康;陈新荣;吴建宏;;用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

3 白昱;金玉;刘岳峰;冯晶;孙洪波;;光栅微结构提高有机电致发光器件光取出效率的研究[A];全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议论文集[C];2011年

4 李术新;梁东;邢岐荣;徐世祥;郎利影;田震;柴路;王清月;;零级深度金属光栅对太赫兹波透过特性的理论研究[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年

5 曹召良;卢振武;李凤有;孙强;;亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年

6 杨德兴;王海滨;赵建林;张鹏;郭夏锐;;层状多重体全息光栅的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

7 周常河;;低密度光栅的飞秒信息处理技术[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年

8 闵长俊;焦小瑾;王沛;明海;;表面有凹槽的亚波长金属光栅结构中光的透射现象的研究[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年

9 赖建军;梁华锋;王彬;翟小锋;;基于金属/介质/金属光栅的窄带红外发射/吸收结构设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

10 刘全;吴建宏;李朝明;;用于ICF系统的取样光栅的设计及衍射行为研究[A];2005年中国光学学会全息与光学信息处理专业委员会年会暨建会20周年纪念会[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 金娃;PCF热传导与形变机理及在熔接和光栅制备中的应用研究[D];燕山大学;2015年

2 武华;面向硅基光子集成的光栅器件研究[D];北京工业大学;2015年

3 吴丽翔;取样光栅的刻蚀深度空间分布微调方法[D];中国科学技术大学;2015年

4 李朝阳;物像光栅自拼接在超短超强激光中的应用问题研究[D];南京理工大学;2015年

5 刘丽娟;液晶/聚合物光栅激光器性能的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2016年

6 王瑞;亚波长微偏振光栅探测器的研制方法及其偏振特性研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2016年

7 吴华明;硅基微纳二元非均匀光栅的研究及应用[D];华中科技大学;2010年

8 董毅;用于光互连的体波导光栅耦合器：分析、制备和应用[D];山东大学;2008年

9 韩建;全息光栅曝光光学系统优化及光栅掩模参数控制方法研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2012年

10 陈上碧;多层介质膜脉宽压缩光栅的清洗及阈值研究[D];中国科学技术大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 王亚如;一维亚波长介质与金属光栅的模态、光谱与近场分布及其应用[D];江苏大学;2016年

2 黄炎龙;微尺度光栅的激光制备方法研究及应用[D];江苏大学;2016年

3 任霄钰;光栅共振耦合中的共振特征与谱对称性研究[D];重庆师范大学;2016年

4 柳秋风;分布反馈光栅对聚合物薄膜受激辐射的调节和爆炸物探测[D];中国科学技术大学;2016年

5 罗铂靓;相位光栅的设计及其在激光束相干合成中的应用[D];四川大学;2006年

6 卢鹭云;宽光谱光栅侧面耦合集光技术研究[D];浙江大学;2015年

7 赵帅;相位取样光栅理论研究及在色散和色散斜率补偿中的应用[D];西南交通大学;2007年

8 栗宏亮;二维全息聚合物/液晶光栅的制备研究[D];长春理工大学;2011年

9 陈娟;二维金属光栅的偏振控制及透射特性研究[D];西南交通大学;2012年

10 王聪;大口径光栅拼接误差控制技术研究[D];电子科技大学;2012年

，

本文编号：521273