一种除去三氯氢硅中磷杂质的新方法

发布时间：2017-07-16 06:23

  本文关键词：一种除去三氯氢硅中磷杂质的新方法

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【摘要】：文章对比了目前国内外氯硅烷除磷的主要方式;描述了一种新型除磷络合剂的制备方法;研究了该络合剂对三氯氢硅中的磷杂质的吸附效果。实验结果表明,使用该络合剂除去三氯氢硅中的磷耗时短,约1~10分钟;除磷效果高,可达95%以上。
【作者单位】： 四川瑞能硅材料有限公司技术部;
【关键词】： 三氯氢硅 磷 络合剂
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： 目前多晶硅企业生产光伏材料多晶硅最广泛的方法,是以高纯三氯氢硅做为原料,在还原炉中与氢气在高温硅芯表面发生还原反应,沉积形成多晶硅棒。此方法是由德国西门子公司发明,因而命名为“西门子法”[1]。三氯氢硅的纯度对多晶硅的质量起着至关重要的作用。在三氯氢硅分解沉积

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本文编号：547406