退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响

发布时间：2017-07-27 03:09

  本文关键词：退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响

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【摘要】：采用磁控溅射法制备了厚度为6.5μm的Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4组分的薄膜材料,把材料分别在400℃,500℃,600℃,700℃,800℃下进行后退火处理.结果表明,室温下的负电阻温度系数α295值随退火温度增加先增大后减小,而电阻率ρ_(295)则是随退火温度增加逐渐减小的;在相同频率下,500℃退火样品的归一化噪声谱密度(S_V·V_R/V~2)最小,700℃退火样品的归一化噪声谱密度最大.退火温度越高会造成越多的晶体缺陷,从而降低有效导热系数、增大时间常数τ和器件噪声.
【作者单位】： 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室;
【关键词】： Mn_(.)Co_(.)Ni_(.)O_薄膜 器件性能 退火温度 探测率 响应率
【基金】：国家自然科学基金(11204336,61274138,61275111,11304336) 上海市基金(12ZR1452200) 上海技术物理所创新专项(Q-ZY-86)~~
【分类号】：TN215
【正文快照】： PACS:68.55.-a引言热敏红外探测器是利用电阻率随温度变化的固体材料制作的一种红外探测器.Mn-Co-Ni-O(MCNO)材料具有较小的电阻率和较大的负电阻温度系数(NTCR)[1],且有性能稳定、灵敏度高、长波响应等优点,其室温热敏红外探测器已在工业和空间仪器中得到广泛应用[2-5].MCNO

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2 冯力力;柳q，

本文编号：579532