非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱

发布时间：2017-07-31 00:23

  本文关键词：非晶硅薄膜和结晶硅薄膜的拉曼光谱

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【摘要】：以玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后通过准分子激光晶化方式获得结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪对非晶硅薄膜、结晶硅薄膜这两类薄膜的拉曼光谱效应和结晶质量等进行了定量分析。结果表明:当激光功率达到某一阈值时,非晶硅样品发生了晶化,即由非晶硅转化成了结晶硅,特征峰发生了46.8 cm-1的位移,薄膜的结晶性质发生根本变化。而结晶硅样品在激光功率变化过程中仅因能量积聚造成了薄膜内应力变化,激光能量消散后内应力恢复原来的状态,特征峰在±5.4 cm~(-1)位移内波动,薄膜的结晶性质并未发生明显变化,表明薄膜处于稳定的晶态结构。
【作者单位】： 上海工程技术大学材料工程学院;
【关键词】： 非晶硅薄膜 结晶硅薄膜 准分子激光晶化 拉曼光谱 拉曼位移
【基金】：国家自然科学青年基金资助项目(61404082) 上海市市级大学生创新训练资助项目(cs1505010)
【分类号】：TN304.12
【正文快照】： Tel.:18321336972;E-mail:1943605835@qq.com通信作者:张霞(1980-),女,湖北荆门人,副教授,硕士生导师,主要研究方向为半导体薄膜。Tel.:021-67791205;E-mail:zhangxia@sues.edu.cn0引言以非晶硅(α-Si)和多晶硅(nc-Si)薄膜为代表的半导体材料,在显示、存储和节能等领域均有广

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