基于微环谐振腔的可调谐滤波器的研究
本文关键词:基于微环谐振腔的可调谐滤波器的研究
更多相关文章: 光学器件 脊形波导 可调谐滤波器 电光调制器 光复用技术 谐振腔
【摘要】:采用深紫外光刻及等离子体刻蚀等工艺制备基于绝缘体上硅材料的环形滤波器,且微环半径仅为5μm。制备基于单微环的4通道光分插复用器,器件尺寸仅为3000μm×500μm。测试结果表明,该器件可以很好地实现上下载功能。其自由频谱宽度约为19.6 nm,最大消光比为19.76 d B。同时优化设计制备基于跑道型双微环可调谐光分插复用器。对这两种结构的光分插复用器的相邻信道间串扰进行测试,基于单微环滤波器和跑道型双微环滤波器的信道间最大串扰分别为-11.94 d B和-20.04 d B。所设计的基于双微环光分插复用器上下载通道与主信道间没有交叉波导结构,因此相邻通道串扰明显低于单环型的光分插复用器。同时设计并制备基于双微环PIN结型电光调制器。当偏置电压增加到1.6 V时,谐振峰发生0.78 nm的蓝移,并对测试结果进行分析。
【作者单位】: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;
【关键词】: 光学器件 脊形波导 可调谐滤波器 电光调制器 光复用技术 谐振腔
【基金】:国家863计划(2013AA031402) 国家自然科学基金(61274047,61275029,61205044)
【分类号】:TN713
【正文快照】: 1引言可重构光分插复用器(ROADM)位于多节点光纤通信网络的中间节点处,可以有选择性地从光纤中下载某个光信号到本地、上载本地用户的信号进入光纤信道以及直通那些不需要在本地节点进行任何处理的光信号。它可以不经过光/电/光转换即可实现波分复用信道的分插功能,大大降低交
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,本文编号:599904
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