激光聚焦偏移测量微小位移方法研究

发布时间：2017-09-22 12:06

  本文关键词：激光聚焦偏移测量微小位移方法研究

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【摘要】：非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量,结果显示位移测量精度优于10 nm(1σ),与理论计算的结果吻合。实验结果表明,该方法对测量微小位移可达nm精度,可应用于工业生产中对主轴振动、轴承球圆度等的在线精密测量。
【作者单位】： 浙江工业大学超精密加工研究中心;无锡迈福光学科技有限公司;绍兴职业技术学院;
【关键词】： 微小位移 激光聚焦偏移 空间滤波 测量精度 长期稳定性
【基金】：浙江省科技厅公益技术应用研究(2015C31053)项目资助
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言随着现代超精密制造和加工技术的不断进步[1-4]及其应用领域的快速扩展,许多采用传统加工方法难以或无法实现的器件,在现代超精密制造和加工技术下变得很容易实现[5],如超精密非球面及自由球面X射线反射镜的加工制造、大口径非球面天文望远镜的加工制造以及深紫外光刻机

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本文编号：900715