比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热

发布时间：2017-10-11 21:30

  本文关键词：比较法研究微细尺度氮化硅表面自然对流换热

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【摘要】：微细尺度的对流换热与常规尺度的有很大不同,采用比较法研究了微细尺度水平氮化硅表面空气自然对流换热的问题。利用标准CMOS工艺和简单的post-CMOS工艺制作出微热板(MHP)测试结构并实验测试,对测试方法的准确性进行了有限元仿真。结果表明:面积为43.5 mm×43.5 mm的水平氮化硅表面的自然对流的传热热导为2.63×10~(-5)W/K,由此计算出的自然对流系数高达1.39×10~4W/(m~2·K),远远高于常规尺度下空气自然对流系数。
【作者单位】： 大连理工大学电子科学与技术学院;
【关键词】： 微细尺度 自然对流换热 比较法 微热板
【基金】：国家自然科学基金项目(61131004) 中央高校基本科研业务费项目(DUT14LAB11)
【分类号】：TK124
【正文快照】： 许多微细尺度下的物理现象与常规尺度的有很大不同[1],比如当物体尺寸缩小106倍时,物体的比表面积就增大106倍,导致与此相关的力、燃烧、流动和传热现象产生很大的变化。对于微细尺度传热研究来说,它是20世纪80年代为解决微电子器件冷却问题发展起来的[2],之后引起了广泛关注

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本文编号：1014858