微型溅射离子泵极小抽速精确测量的意义和难点

发布时间：2022-08-10 16:36

　　抽速小于10^-4m~3/s量级的微型溅射离子泵在航天载荷产品、电子器件、科学仪器领域应用广泛,现有的抽速测量方法都大于10^-2m~3/s量级,无法解决极小抽速精确测量的急需。制约抽速测量的主要原因是测量用电离真空计本身的抽速在10^-5～10^-4m~3/s量级,与被测微型真空泵抽速在同一数量级,以及现有测量方法无法适用于极小抽速的测量。在论述微型溅射离子泵极小抽速测量的重要意义及分析其难点的基础上,调研了极小抽速测量研究的最新进展,提出了极小抽速测量的构想,期望能为实现微型溅射离子泵极小抽速的精确测量提供帮助。 

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 引言
1 航天产品上使用的微型溅射离子泵的极小抽速需要精确测量
    1.1 静电悬浮加速度计腔体中的超高真空需要用微型溅射离子泵维持
    1.2 空间探测质谱计质谱室需要用微型溅射离子泵抽气
    1.3 原子钟真空腔体中的超高真空需要用微型溅射离子泵保持
    1.4 真空电子器件腔体需要使用微型溅射离子泵抽气
2 极小抽速精确测量的技术难点
    2.1 现有真空泵抽速测量方法无法满足10-4m3/s以下极小抽速的精确测量
    2.2 电离真空计自身抽气效应是制约极小抽速精确测量的主要原因
3 极小抽速测量方法最新研究进展
    3.1 电离真空计极小抽速的测量方法
    3.2 电离真空计与非蒸散性吸气剂泵组合测量极小抽速的方法
    3.3 微型溅射离子泵抽速测量
    3.4 现有方法无法实现极小抽速精确测量
4 极小抽速测量的基本构想


【参考文献】：
期刊论文
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[4]非蒸散型吸气剂泵在真空计量中的应用研究[J]. 李得天,成永军.  真空科学与技术学报. 2011(02)
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本文编号：3673978