熔融石英坩埚在烧结和铸锭过程中的结构及性质

发布时间：2017-10-28 01:14

  本文关键词：熔融石英坩埚在烧结和铸锭过程中的结构及性质

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【摘要】：通过X射线衍射测试、薄片观察、SEM形貌分析、显气孔率和体积密度测量等方法,对熔融石英坩埚在烧结和铸锭过程中的物相、结构和性质变化进行了表征;为提高坩埚的强度和致密性,分别进行了烧结实验和硅溶胶浸渍实验。在本实验条件下,α-方石英的(101)衍射峰强度与坩埚结晶度呈线性相关(相关系数r=0.9999),可应用于坩埚结晶度的检测;保温时间为6 h时,坩埚烧结的上限温度为1170℃,此时其结晶度为0.6%;比较了不同的硅溶胶浸渍方式对于坩埚致密度的影响,其中真空浸渍效果较明显,使得坩埚的显气孔率下降13%,体积密度上升7%。
【作者单位】： 北京大学地球与空间科学学院;
【关键词】： 熔融石英坩埚 烧结温度 相变 α-方石英 结构
【分类号】：TQ174.1
【正文快照】： (Received 15 December 2015,accepted 11 January 2016)1引言熔融石英坩埚是多晶硅铸锭过程中的重要生产工具,国内外学者对其制备过程有着大量的研究成果,如不同的保温时间[1]、成型方法[2]、添加剂[3,4],颗粒级配[5]等生产要素对于坩埚烧结(生产)后性质的影响,其目的主要在

【参考文献】

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本文编号：1106009