一种采用光学比较测角仪测量碲化镉晶体平行度的方法

发布时间：2018-09-13 16:53

【摘要】：对碲化镉晶体进行了光学加工,利用两台测量精度为1″的光学比较测角仪和一块平行度优于1″的平行平晶测量了其平行度,并且和光学加工过程中采用激光平面干涉仪测得的氟化钙陪片的平行度进行了比较,分析了这种测量方法的误差来源及大小。结果表明:采用此方法测得的碲化镉晶体的平行度和采用激光平面干涉仪测得的陪片的平行度相差不超过3″;此方法的误差主要来自于光学比较测角仪的测量误差和平行平晶的平行度误差,总误差最大不超过5″,能够满足碲化镉晶体平行度测试的精度要求。
[Abstract]:The optical processing of cadmium telluride crystal was carried out. The parallelism was measured by two optical comparator angulometers with a measuring accuracy of 1 "and a parallel crystal with a parallelism of less than 1". Compared with the parallelism measured by laser plane interferometer during optical processing, the error source and size of the measurement method are analyzed. The results show that the parallelism of cadmium telluride crystals measured by this method is no more than 3 ". The error of this method mainly comes from the measurement error of the optical comparator and the parallelism error of the parallel flat crystal. The total error is not more than 5 ", which can meet the precision requirement of the parallelism measurement of cadmium telluride crystal.
【作者单位】： 北京联合大学基础部;南开大学物理科学学院;
【分类号】：O78;TQ132.44

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2241773