金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线

发布时间：2017-08-15 02:07

  本文关键词：金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线

  更多相关文章： 飞秒激光微加工 金刚石 石墨线 拉曼光谱

【摘要】：利用120 fs、800 nm钛蓝宝石飞秒激光器微纳加工系统,在化学气相沉积金刚石薄片表面进行了石墨化的研究,得到了导电性良好的微米尺度的石墨线。利用Raman光谱研究了激光的功率、激光扫描速度等对石墨化程度的影响规律。结果表明,在飞秒激光直写区域有纳米晶石墨、无定型碳及残留金刚石存在。优化辐照激光能量和激光扫描速度参数,可以得到较好的纳米晶石墨线结构。以10μm/s扫描速度,1.14μJ激光能量刻写出了毫米级长度的石墨线。利用半导体电阻测试仪对其伏安特性进行了测试,测得1 mm长石墨线的电阻约67.2 kΩ。该研究对基于金刚石的生物传感器、放射量测定计,及器件内掩埋石墨电极等制备都有一定的指导意义。
【作者单位】： 电子科技大学物理电子学院;
【关键词】： 飞秒激光微加工 金刚石 石墨线 拉曼光谱
【基金】：中央高校基本科研业务费(ZYGX2012J057) 国家留学基金(20133018)资助
【分类号】：TQ127.11
【正文快照】： 0引言金刚石具有优异的物理化学性能,具有高的硬度、热导率和宽的带隙、光学击穿强度,高透射率光谱区,优良的化学稳定性及良好的生物兼容性,在深紫外激光器、光探测器、场发射器、高功率半导体设备及表面声波探测器等方面有广泛的应用[1-3]。飞秒(10-15s)激光微加工技术在微结

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 冯巧波;尹铁路;沈坤全;俞雳;;激光加工在工程实训中的应用[J];实验室研究与探索;2015年04期

2 董志伟;张伟斌;郑立威;姜涛;范国祥;赵煦;赵清亮;陈德应;夏元钦;;利用飞秒激光和纳秒激光脉冲加工金刚石（英文）[J];红外与激光工程;2015年03期

3 王吉明;刘友文;赫崇君;杨雁南;张广斌;李香莲;丁冰;;现代光学实验教学体系的研究与实践[J];实验科学与技术;2014年01期

4 刘宇飞;狄伶;;若干样品池的拉曼光谱检测[J];实验室研究与探索;2013年10期

5 何飞;廖洋;程亚;;利用飞秒激光直写实现透明介电材料中三维维微微纳结构的制备与集成[J];物理学进展;2012年02期

6 程运丽;孙莉;曹同成;杨慧慈;朱仲良;;分子光谱实验教学体系的建设[J];实验室研究与探索;2009年02期

7 夏小平,王声波,吴鸿兴,郭大浩,戴宇生,范勇,吴柏枚;激光技术及强激光与物质相互作用实验[J];物理实验;2003年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 徐世珍;宋文亮;祖小涛;;金刚石表面飞秒激光直写微米石墨线[J];实验室研究与探索;2016年04期

2 唐敏;金一鸣;;开源硬件在电子实训与创新实践中的应用[J];求知导刊;2016年02期

3 曹伟龙;田桂中;;微流体系统中微通道网络成形工艺研究进展[J];现代制造工程;2014年12期

4 熊庆;郭彩红;宋红杰;李兰;徐泽民;蒲雪梅;;傅里叶变换红外光谱法中的对比实验教学设计[J];实验科学与技术;2014年05期

5 房丰洲;;纳米制造基础研究的相关进展[J];中国基础科学;2014年05期

6 李硕;赵彤帆;宋海珍;;基于Matlab软件的微振动理论及其应用[J];南阳师范学院学报;2014年06期

7 王梅;陈木子;;荧光、拉曼和红外等三种分子光谱仪器的上机培训[J];分析仪器;2014年03期

8 徐华杰;刘昭第;盛良全;黄德乾;张宏;;对比性实验在分子光谱实验教学中的应用探索[J];光谱实验室;2013年06期

9 胡辽林;步丽娜;华灯鑫;;红外飞秒激光逐点刻写光纤布拉格光栅的束斑优化[J];激光与光电子学进展;2013年04期

10 阙荣才;李艳艳;朱仲良;丛培盛;;基于顶空气相色谱法树皮模式识别实验的开发[J];实验室研究与探索;2010年01期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 汪刘应;徐卓;华绍春;刘安明;郭秦;刘顾;;不同管径CNTs/Al_2O_3-TiO_2复合吸波涂层的拉曼光谱特征及吸波性能研究[J];无机材料学报;2013年02期

2 邹乔;杜显元;张琛;李兴春;李鱼;;饱和一元醇类分子拉曼光谱振动峰的归属研究[J];光谱学与光谱分析;2013年01期

3 柳艳;尹利辉;陆峰;;拉曼光谱法在假药快检中的研究进展[J];药学实践杂志;2012年06期

4 狄伶;何琳;;鸡蛋外壳膜的拉曼光谱观察[J];实验室研究与探索;2012年10期

5 刘燕德;万常斓;蔡丽金;;共焦显微拉曼光谱法快速检测食用油掺假的研究[J];农机化研究;2012年09期

6 申丽娟;邢淑清;麻永林;白亮;李德发;李建飞;;304奥氏体不锈钢亚快速凝固组织演化和形成机理[J];特殊钢;2012年04期

7 李月;颜世永;陈勇;;高压下石英的激光拉曼光谱研究[J];光谱学与光谱分析;2011年08期

8 庄志萍;赵冰;陈玉锋;左明辉;;反式乙烯基联吡啶表面增强拉曼光谱的密度泛函理论研究[J];光谱学与光谱分析;2011年08期

9 左建勇;;面向工程的实训教学模式与案例分析[J];实验室研究与探索;2011年07期

10 滕宇;周佳佳;林耿;姜雄伟;邱建荣;;玻璃激光内雕技术的最新进展[J];硅酸盐学报;2011年04期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 邱建荣,钱国栋,Kazuyuki Hirao;飞秒激光空间选择性诱导玻璃微结构及应用[J];材料研究学报;2003年01期

2 刘美红;飞秒激光在玻璃中制作微孔[J];激光与光电子学进展;2004年04期

3 王亚非;飞秒激光加工机[J];光机电信息;2004年05期

4 孙晓慧,周常河,余f:鲲;飞秒激光加工最新进展[J];激光与光电子学进展;2004年09期

5 刘迈;李晶;;飞秒激光与金属作用机理[J];河北大学学报(自然科学版);2010年06期

6 赵全忠,邱建荣;飞秒激光相干场诱导材料功能微结构[J];物理;2005年09期

7 孙晓慧;张修丽;刘烈;;飞秒激光与晶体材料相互作用的研究进展[J];材料导报;2008年02期

8 高凌云;;飞秒激光使铝变成金色[J];现代物理知识;2008年03期

9 荣烈润;;新一代飞秒激光在超精细冷加工中的新应用[J];金属加工(冷加工);2013年01期

10 张然;肖鑫泽;吕超;骆杨;徐颖;;金纳米棒的飞秒激光组装研究[J];物理学报;2014年01期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 魏志义;王兆华;田金荣;令维军;贾玉磊;张军;韩海年;王鹏;孙敬华;郑加安;张杰;聂玉昕;;飞秒激光功能扩展及精确控制[A];第六届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];2003年

2 曾绍群;;飞秒激光的声光扫描与神经活动观测[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年

3 徐楠;吴成印;吴志峰;梁青青;杨宏;龚旗煌;;分子的飞秒激光取向操纵[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年

4 蒋红兵;钟凤娇;龚旗煌;;分子取向对飞秒激光传输的影响[A];第八届全国光学前沿问题讨论会论文集[C];2009年

5 鲁欣;张U，

本文编号：675749