工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响

发布时间：2017-09-05 05:03

  本文关键词：工艺气体比例对微波MOCVD沉积氧化铝膜性能影响

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【摘要】：AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明,随着N_2O比例增大,薄膜中O/Al原子比例有上升趋势;膜层沉积速度显著降低;膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以,工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。
【作者单位】： 东北大学机械及自动化学院;
【关键词】： 线性微波源 氧化铝薄膜 工艺气体比例 折射率 沉积速度
【基金】：教育部博士点基金资助项目(20120042110031)
【分类号】：TB383.2;TQ133.1
【正文快照】： 0引言AlO薄膜具有可以钝化硅片表面,弥补硅片表面悬挂键,起到增加少子寿命的作用,最重要的是氧化铝膜层内部有负阴离子团,该阴离子位于AlO和硅交界处,可以在P型硅表面形成阴性场效应,增强PN结的内建电场,增大开路电压和短路电流,最终实现提高晶硅电池效率。因此,近年来AlO薄膜

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本文编号：795964