大尺寸四硼酸锂压电晶体转向生长

发布时间：2017-12-19 17:43

  本文关键词：大尺寸四硼酸锂压电晶体转向生长　出处：《硅酸盐学报》2016年10期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：四硼酸锂(Li_2B_4O_7,LBO)晶体是一种性能优异的压电基片材料,坩埚下降法生长的直径为76 mm LBO晶体已成功应用于声表面波(SAW)和体波(BW)器件。由于硼酸盐熔体粘度大、晶体易开裂,生长直径为102 mm的LBO晶体产业化还有很大难度。本工作根据坩埚下降法技术特点,提出了转向生长LBO晶体的工艺方案,成功生长出60 mm×110 mm×120 mm板状晶体。晶体沿[001]方向快速生长,侧面主面为(110)。生长的板状晶体经准确定向、加工后即可获得高度60 mm、直径为102 mm(4 in)的[110]取向LBO晶体,生长速率和晶体产率较传统方法都有显著提高。
【作者单位】： 上海应用技术大学材料科学与工程学院晶体生长研究所;中国科学院上海硅酸盐研究所;
【基金】：国家自然科学基金项目(51472263)
【分类号】：O782
【正文快照】： 压电晶体是能够实现机械能与电能相互转换的一类功能晶体材料,水晶、铌酸锂(Li Nb O3)、钽酸锂(Li Ta O3)是工业上最常用的压电晶体材料,广泛用于制作谐振器、滤波器、换能器等电子元器件[1]。四硼酸锂(Li2B4O7,LBO)晶体是上世纪90年代发展起来的一种新型温度补偿型声表面波(S

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本文编号：1308859