环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜

发布时间：2017-10-10 04:09

  本文关键词：环形天线-椭球谐振腔式MPCVD装置高功率下沉积高品质金刚石膜

  更多相关文章： 金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质 椭球谐振腔

【摘要】：介绍了自行研制的环形天线-椭球谐振腔式高功率MPCVD装置的结构特点,展示并研究了新装置在高功率条件下的放电特性。在10.5 k W的高微波输入功率下成功制备了直径50 mm,厚度接近1 mm的高品质自支撑金刚石膜。在真空泄漏速率约2.5×10~(-6)Pa·m~3/s的条件下金刚石膜的生长速率达到6μm/h,金刚石膜厚度偏差小于±2.1%。抛光后的金刚石膜红外透过率在6.5~25μm范围内接近71%;紫外透过率在270 nm处超过50%,金刚石膜样品的光学吸收边约为225 nm;通过紫外吸收光谱计算的金刚石膜样品中的氮杂质含量约为1.5 ppm;金刚石膜的拉曼半峰宽小于1.8 cm~(-1)。
【作者单位】： 北京科技大学新材料技术研究院;河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;中国科学院北京纳米能源与系统研究所;
【关键词】： 金刚石膜 化学气相沉积 高功率 氮杂质 椭球谐振腔
【分类号】：TQ163
【正文快照】： (Received 8 April 2016)1引言大面积、高品质金刚石膜以其优异的综合性能在各领域有着广泛的应用[1]。然而,尽管微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术自发明以来取得了巨大的技术进步,但在大面积高品质金刚石膜的高效制备方面仍面临挑战[2-4]。高功率MPCVD技术是高效制备大面

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 ;美科学家研究出用C_（60）生产金刚石膜新技术[J];科技导报;1994年11期

2 吕反修;CVD金刚石膜研究近期进展与应用[J];物理;1995年10期

3 元光，金亿鑫，金长春，宋航，张宝林，宁永强，，蒋红，周天明，李树伟;硅微尖上金刚石膜的生长[J];吉林大学自然科学学报;1996年03期

4 罗廷礼;;终成正果贵在坚持——对CVD金刚石膜研究工作的回顾[J];河北省科学院学报;2008年04期

5 孙振路;张平伟;吴晓波;胡红彦;刘秀军;;影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题[J];超硬材料工程;2008年04期

6 何敬晖;秦松岩;玄真武;董长顺;苗雨新;陈磊;;不同晶粒尺寸对CVD金刚石膜机械性能的影响[J];超硬材料工程;2009年05期

7 孙超,汪爱英,黄荣芳,闻立时;金刚石膜的制备和高取向生长[J];炭素技术;2002年01期

8 李明吉;吕宪义;孙宝茹;李春燕;李博;金曾孙;;金刚石膜的氮掺杂行为[J];新型炭材料;2007年02期

9 姜春生;李晓静;刘政;唐伟忠;吕反修;;金刚石膜中黑色缺陷形成过程的计算机模拟[J];功能材料;2010年03期

10 李德贵;苟立;冉均国;;活性成分对金刚石膜沉积速率和质量的影响[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年04期

中国重要会议论文全文数据库 前2条

1 陈良贤;李成明;陈飞;刘政;黑立富;宋建华;陈广超;唐伟忠;吕反修;;钛过镀层沉积自支撑金刚石膜的界面特征[A];2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会文集[C];2008年

2 唐伟忠;于盛旺;李成明;陈广超;吕反修;;金刚石膜红外光学窗口的化学气相沉积技术[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 李义锋;新型高功率MPCVD装置研制与金刚石膜高效沉积[D];北京科技大学;2015年

2 苏静杰;新型MPCVD装置的设计及金刚石膜的制备与介电性能研究[D];北京科技大学;2015年

中国硕士学位论文全文数据库 前6条

1 周祥;工艺参数对金刚石膜生长的影响[D];武汉工程大学;2014年

2 安康;新型高功率MPCVD金刚石膜装置模拟及实验研究[D];太原理工大学;2015年

3 田宇迪;MPCVD法制备高取向金刚石膜及设备改进的研究[D];武汉工程大学;2015年

4 窦平;基于CUDA的金刚石膜生长仿真的研究与实现[D];东北大学;2011年

5 刘聪;高功率MPCVD法制备高质量金刚石膜的研究[D];武汉工程大学;2015年

6 徐政;MPCVD法制备大面积纳米金刚石薄膜的研究[D];武汉工程大学;2015年

本文编号：1004226