石英玻璃的化学机械磨削加工.pdf

  本文关键词：石英玻璃的化学机械磨削加工，，由笔耕文化传播整理发布。

文档介绍：
第18卷第7期2010年7月光学精密工程Optics and Precision EngineeringV01.18 No.7Jul.2010文章编号1004—924X(2010)07—1554—08石英玻璃的化学机械磨削加工仇中军1,周立波2,房丰洲1,椎名刚志2,江田弘2(L天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072;2.日本茨城大学工学部,茨城日立316—8511)摘要:为了实现石英玻璃基板的高效、高质量加工,进一步改善光掩模设备的性能,进行了石英玻璃化学机械磨削(CMG)加工技术的研究。通过在磨削过程中主动增强磨粒、结合剂以及磨削液与工件的化学反应,并使化学反应与机械去除作用形成动态平衡,从而消除因材料脆性去除而造成的表面损伤等,实现了大口径玻璃工件的高表面质量、高形状精度的加工。针对石英玻璃CMG加工的特点,开发了CMG专用砂轮及磨削液,利用正交实验法优化了石英玻璃CMG加工工艺参数,分析了CMG加工过程中磨削压力、砂轮转速、磨削液流量、pH值等因素对加工表面粗糙度及加工效率的影响,并利用优化后的工艺参数加工得到了兄为0.795 am的石英玻璃表面。加工后基板的光学性能和化学机械抛光(CMP)加工基板的光学性能相同,能够满足光掩模设备的性能需求。关键词:化学机械磨削;石英玻璃;正交试验法中图分类号:TQl71.68 文献标识... 内容来自转载请标明出处.

  本文关键词：石英玻璃的化学机械磨削加工，由笔耕文化传播整理发布。