PSN-PZT陶瓷及其在加速度传感器中的应用研究

发布时间：2017-11-23 18:00

  本文关键词：PSN-PZT陶瓷及其在加速度传感器中的应用研究

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【摘要】：利用传统固相烧结法制备了0.02Pb(Sb_(0.5)Nb_(0.5))O_3-0.98Pb_(1-2 x)Ba_xSr_x(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3压电陶瓷(其中x=0.02,0.03,0.04,0.05).讨论了不同Ba、Sr复合掺杂量及烧结温度对陶瓷结构和电性能的影响.结果显示,当x=0.04,烧结温度为1 260℃时,压电陶瓷的性能最佳,其中d_(33)=615 p C/N,ε_(33)/ε_0=2 224,tanδ=2.11%;然后把这个配方的陶瓷片安装到传感器中,测试其电荷灵敏度、最大横向灵敏度比和最大线性误差,电荷灵敏度为2.72 p C/(m·s~(-2)),最大横向灵敏度比小于5%,最大线性误差为2.97%,符合通用振动测试类型传感器使用要求.
【作者单位】： 郑州大学化工与能源学院;
【基金】：国家新型电子元器件专项(2008-1436) 河南省产学研合作资助项目(142107000003) 河南省教育厅重点资助项目(14A5300)
【分类号】：TQ174.7;TP212
【正文快照】： 0引言在工程技术中,常常会遇到机械振动的问题.为了消除或减小振动,就需要有一系列精确可靠的振动测量仪器,比如压电加速度传感器[1].压电加速度传感器又称压电加速度计或压电加速度表.世界上首次实现压电加速度传感器商品化的时间是1943年,由丹麦的BrüelKj錥r公司设计[2].，

本文编号：1219308