基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测

发布时间：2018-02-23 02:36

  本文关键词： 大数据分析 MEMS 耐磨性　出处：《科技通报》2017年12期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：当前方法MEMS电镀铜薄膜耐磨性的预测值与真实值拟合度较差,预测误差率高。提出基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测方法研究,进行MEMS薄膜的电镀铜实验,提取薄膜镀层厚度和镀层均匀度的实验数据;利用提取的样本数据,采用智能支持向量机(SVM)的大数据预测方法,进行SVM模型构建和参数优化选择,提高数据分类和预测的精度,实现对MEMS电镀铜薄膜耐磨性的精确预测。实验证明提出的方法能够提高预测的精度、降低误差。
[Abstract]:At present, the prediction value of wear resistance of MEMS electroplated copper thin film is worse than that of real value, and the prediction error rate is high. A method of predicting wear resistance of MEMS electroplated copper film based on big data analysis is put forward, and the copper electroplating experiment of MEMS film is carried out. The experimental data of film coating thickness and coating uniformity are extracted, and big data prediction method of intelligent support vector machine (SVM) is used to construct SVM model and optimize parameters to improve the accuracy of data classification and prediction. The accurate prediction of wear resistance of MEMS electroplated copper thin films is realized. The experiments show that the proposed method can improve the precision of prediction and reduce the error.
【作者单位】： 烟台大学文经学院;贵州兴义民族师范学院;
【基金】：2016年烟台大学文经学院教学改革研究项目:独立学院软件工程课程教学模式改革研究(2016JYB023)
【分类号】：TQ153.14

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本文编号：1525918