ZnSe红外窗口材料加工、镀膜及性能研究

  本文关键词：超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究，由笔耕文化传播整理发布。

《长春理工大学》 2006年

ZnSe红外窗口材料加工、镀膜及性能研究

么艳平  

【摘要】：本文对ZnSe红外窗口材料的化学机械抛光、抛光后性能、10.6μm增透膜的设计制备和镀膜后的性能进行分析。ZnSe是一种理想的红外窗口材料，首先分析了ZnSe材料的力学光学性能，然后介绍了在大量实验的基础上所探索出了一套实用的、行之有效的整盘加工工艺，讨论了影响抛光效率的因素以及加工过程对ZnSe材料的宏观应力的影响，并对加工后的ZnSe材料的工艺参数、表面质量和透过率进行测试，，证明我们所采用的化学机械加工法是很高效实用的光学加工法。最后设计了ZnSe材料为基底10.6μm红外增透膜，分析膜料和蒸发源材料的选择，以及对镀膜后ZnSe零件的光学性能和牢固性等各项性能进行测试，表明光学性能和牢固性皆优。

【关键词】：
【学位授予单位】：长春理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2006
【分类号】：TB39
【目录】：

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