单点金刚石飞切KDP晶体表面缺陷深度的研究

发布时间：2018-07-09 22:46

  本文选题：非线性光学 + 缺陷深度估测　； 参考：《光子学报》2017年05期

【摘要】：基于印压断裂力学理论分析了磷酸二氢钾晶体表面缺陷面积与中位裂纹深度的关系.在刀具参量和主轴转数一定的情况下,采用不同切削深度和进给速率对磷酸二氢钾晶体进行单点金刚石飞切加工实验,并计算晶体表面单位面积缺陷的占比系数.实验结果表明,晶体表面缺陷深度与面积占比系数成正相关,与理论分析结果相符,进而提出了利用计算晶体表面缺陷占比系数估测缺陷深度的方法.最后基于该方法得到高效率切削步骤,并加工获得了表面粗糙度算术平均值优于5nm的超光滑晶体表面.
[Abstract]:The relationship between the surface defect area and the median crack depth of potassium dihydrogen phosphate crystal was analyzed based on the fracture mechanics theory. Under the condition of constant tool parameters and spindle rotation, single point diamond flying cutting experiments were carried out with different cutting depth and feed rate, and the percentage ratio of crystal surface defects per unit area was calculated. The experimental results show that there is a positive correlation between the surface defect depth and the area ratio coefficient, which is consistent with the theoretical analysis results. Furthermore, a method for estimating the defect depth by calculating the crystal surface defect fraction coefficient is proposed. Finally, the high efficiency cutting step is obtained based on this method, and the ultra-smooth crystal surface with arithmetic mean value of surface roughness is obtained, which is superior to 5nm.
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室;中国科学院大学;上海科技大学物质科学与技术学院;
【基金】：国家自然科学基金(No.61405211) 中以高功率激光技术国际合作研究项目(No.2010DFB70490)资助~~
【分类号】：O786;TQ131.13

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2110973