氮化碳超硬防划伤镀膜玻璃的制备与研究

发布时间：2018-07-17 18:00

【摘要】：采用工业磁控溅射设备在玻璃基板上依次沉积Al_2O_3/SiO_2/CNx多层复合纳米薄膜,并研究测试了其透过率、耐划性及耐酸碱性。结果表明,通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,膜层莫氏硬度达到8级,具有优良的防刮效果;膜层存在△T0.6%的微弱增透效果;经过酸/碱处理,透过率衰减|ΔT|0.1%。
[Abstract]:The Al _ 2O _ s _ 3 / Sio _ (2) / C _ (x) multilayer composite nanocrystalline films were deposited on glass substrates by industrial magnetron sputtering equipment, and their transmittance, scratching resistance and acid and alkalinity resistance were studied and tested. The results show that by introducing a linear anodic ion source to control and form a new magnetron sputtering coating process, the Mohlich hardness of the film is up to 8 grade, the film has excellent anti-scratch effect, the film has a weak antireflection effect of T0.6%, and the film is treated with acid / alkali. Transmittance attenuation.
【作者单位】： 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司;海南中航特玻科技有限公司;海南省特种玻璃重点实验室海南大学;
【分类号】：TQ171.7

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本文编号：2130486