化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

发布时间：2016-12-21 23:07

  本文关键词：化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究，由笔耕文化传播整理发布。

《物理学报》 2014年24期

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化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究

     

【摘要】：石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体,具有优良的电学、光学、热学及力学等性质.产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一.化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能.本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展,综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数,包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等.最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向.

【作者单位】： 上海大学物理系索朗联合实验室;
【关键词】：
【基金】：
【分类号】：TQ127.11
【正文快照】：

石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体,具有优良的电学、光学、热学及力学等性质.产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一.化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能.本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展,综述了影响大尺寸、单晶石墨

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