超声喷雾热解法制备MgO薄膜及性能研究

发布时间：2017-04-09 15:20

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【摘要】：采用自制超声喷雾热解装置制得MgO薄膜,用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等研究了MgO薄膜的晶体及微观结构。结果表明,随着沉积温度的提高,薄膜的结晶性能变好,光透射率随之升高;当沉积温度为650℃时,薄膜的晶粒为52.295nm,在可见光波段透射率达到77%。沉积温度对MgO薄膜的晶体结构、表面形貌以及光学特性有显著影响,是调控MgO薄膜结构和光学特性的有效手段。
【作者单位】： 南京邮电大学电子科学与工程学院;南京大学(苏州)高新技术研究院;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心;
【关键词】： MgO薄膜 超声喷雾热解 温度 致密性
【基金】：国家自然科学基金项目(51172110,11405089) 江苏省自然科学基金青年基金资助项目(BK20130376,BK20130855) 江苏省高校自然科学研究资助项目(13KJB140012) 江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(2014-XCL-015) 南邮校级科研项目(NY214131)
【分类号】：TQ132.2;TB383.2
【正文快照】： 随着半导体产业的迅速发展,传统的硅(Si)基半导体元件的特征尺寸迈入了微米甚至纳米数量级,人们对元件小型化的需求越来越迫切,客观要求一些具有优异的压电、铁电及高温超导性能的薄膜材料在Si衬底上有良好的集成,但二者之间存在较大的晶格失配,影响了薄膜材料的应用[1],而氧

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