多晶硅铸锭生产气体在线检测系统

发布时间：2021-01-20 13:30

　　针对目前铸锭产品的品质效果缺乏有效及时的在线测试方法,本文提出了多晶硅铸锭生产气体在线检测系统。该系统通过对铸锭生产过程中排出的工艺性尾气——氩气进行干泵取样、增压测试、实时分析等技术,实现了在线式自动取样实时分析,超限报警的功能,可实时根据生产过程中炉腔内气氛的变化,提早发现铸锭炉的故障和异常,减少异常产品的出产率。通过后续电池数据的支撑,可确定设备漏水和漏气的极限值,达到精细化调控硅锭质量、危险预警的效果,为铸锭氩气回收系统做好预研的准备。 

【文章来源】：人工晶体学报. 2020,49(06)北大核心

【文章页数】：7 页

【部分图文】：

铸锭炉示意图

图1 铸锭炉示意图通过利用相应的检测系统可以实时准确的掌握铸锭生产是否出现异常。本文使用赛默飞世尔NICOLETE6700碳氧测试仪测试硅锭中的碳氧含量,该碳氧测试仪通过ETC监控,使红外光源能量稳定输出,确保光源整个寿命中均可保证性能一致,从而得到稳定的高质量红外图谱;还可通过“Turbo”模式获得超出常规能量25%高能量输出,以满足特殊测试要求。本文使用GC-950气相色谱仪、GC-2014C气相色谱仪测试所采集的气体样本,其中,GC-950气相色谱仪可以满足广大色谱用户常规分析和工厂车间日常分析要求,优势众多,可广泛应用于化工、化学、环境保护等诸多分析领域;GC-2014C气相色谱仪具有高扩展性和操作简便性的特点,为石油化工、食品分析、环境监测等诸多领域提供了完备的解决方案,具有极高的性价比。

铸锭标准工艺示意图

【参考文献】：
期刊论文
[1]不同掺锗浓度对多晶硅性能的影响[J]. 苏杰,黄美玲,钟根香,黄新明.  材料导报. 2014(24)
[2]大尺寸多晶硅铸锭的工艺研究[J]. 张军彦,薛耀平.  电子工艺技术. 2013(04)
[3]混装条件下BGA焊点空洞问题[J]. 王树清,文大化.  电子工艺技术. 2012(05)
[4]定向凝固多晶硅的结晶组织及晶体缺陷与杂质研究[J]. 钟根香,周浪,周潘兵,万跃鹏.  材料导报. 2008(12)
[5]多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组成[J]. 侯炜强.  电子工艺技术. 2008(05)
[6]太阳能多晶硅锭定向凝固技术进展[J]. 钟根香,周浪,万跃鹏.  材料导报. 2008(09)



本文编号：2989132