应用于石墨烯制备的CVD反应炉研制

发布时间：2021-01-26 12:48

　　本文介绍了应用于石墨烯制备的CVD反应炉的工艺原理及技术特点,并以一台已经研制成功的CVD反应炉为例,详细阐述了该设备的相关设计思路及特点。该设备采用先进的控温技术控制加热器的快速升温,通过闭环控制实现了工艺过程中腔室压力的自动控制,具有控制精度高、响应快、一致性好等优点。 

【文章来源】：真空. 2020,57(03)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

控制系统结构图

CVD反应炉试制成功后，于2014年初交付用户使用。目前，该设备已成功完成多种气相沉积工艺，工艺运行过程为全自动程序控制，程序运行稳定，产品一致性好。3.1 性能参数

【参考文献】：
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本文编号：3001142