绿色制造模式下多晶硅关键生产工艺提升研究

发布时间：2021-03-02 03:19

　　针对国内外主流的改良西门子法多晶硅制备工艺存在的高能耗、低效率、投资成本高等问题,引入绿色制造理念与技术,采用先进冷氢化技术、多晶硅生产线资源再利用技术及不凝气深度回收技术等技术,对多晶硅生产设备、技术、回收利用等制备环节进行改善,实现工艺优化、节能降耗、减轻污染和质量提升。 

【文章来源】：信息技术与标准化. 2020,(06)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

改良西门子法多晶硅制备工艺流程图

先进冷氢化系统是超低消耗的原料供应系统,主要包括物料加热技术、旋风分离技术及内件技术等都是影响冷氢化系统节能降耗的关键技术,基于此研究出的先进冷氢化系统能够实现单套系统可实现年产12万吨三氯氢硅,生产单耗仅为10 kwh/kg-Si。用先进冷氢化系统取代传统的热氢化系统和三氯氢硅合成系统,消除复杂的供料体系,进而使冷氢化单一系统完成原料供应,实现原料的绿色生产。(2)将热氢化系统改造为多晶硅沉积系统,实现绿色改造升级


本文编号：3058498