林德启用全新制氮机，为积塔半导体供气

发布时间：2021-03-23 20:21

　　<正>2020年5月7日,英国吉尔福德林德宣布,其为积塔半导体建造的1台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了1份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第1台,第2台预计将于2022年上线启用。该制氮机位于上海临港产业区,其安装和运行工作由林德旗下合资企业联华林德（Linde Lien Hwa）负责。该制氮机将为积塔半导体造价高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体(如氮气、氧气、氩气、 

【文章来源】：化工装备技术. 2020,41(03)

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本文编号：3096369