单晶氧化镓研抛加工技术研究
发布时间：2021-07-03 13:33
单晶氧化镓（β-Ga2O3）是具有超宽禁带、高击穿场强和深紫外波段透射率高等优良物化特性的半导体材料,在高频、高效率、大功率微电子器件和高压设备领域具有广阔的应用前景。单晶氧化镓材料的加工技术包括晶体生长、切片、研磨、抛光等,尤其是研磨、抛光加工是决定晶片表面加工质量的关键加工工序。由于其自身的解理属性,在传统研磨加工过程中容易出现解理裂纹、解理舌、解理坑等缺陷,后期抛光过程中难以进行去除,严重影响晶片表面质量,制约其推广应用。本文主要研究内容如下:（1）制备粘弹性氧化镓用研磨垫。基于粘弹性材料力学行为的变形理论制备了粘弹性氧化镓用研磨垫,并通过实验研究确定了其组成成分,结果表明:弹性层为布基、研磨层由质量分数5%-10%金刚石微粉、25%-40%树脂胶、30%-40%水溶性研磨助剂和去离子水组成。（2）研究粘弹性研磨垫对氧化镓研磨效果的影响。采用传统锡盘、砂纸和粘弹性研磨垫对氧化镓进行研磨对比实验研究,结果表明:当研磨压力为50g/cm2,转速为120rpm,采用锡盘和砂纸研磨时,参与有效去除的磨粒数目多,磨粒快速切入...
【文章来源】：江苏大学江苏省
【文章页数】：71 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
（a）β-Ga2O3场效应晶体管横截面（b）光学显微镜俯视图
江 苏 大 学 专 业 硕 士 学 位 论 文aN制造相同结构的器件时，通常难以达到同样的指体器件的研发方面具有很大的成本优势[20]。 1.3（a）β-Ga2O3场效应晶体管横截面 （b）光学显微镜俯oss section of β-Ga2O3field effect transistor (b) Optical micro
图 2.1 导模法生长单晶氧化镓过程示意图Fig.2.1 The schematic diagram of β-Ga2O3by EF法Floating Zone Technique, FZ）是目前生长单方法采用四灯加热技术，其生长原理示意化镓粉末放入橡胶管中，经压缩并在高温红外成像炉中通过大功率光学设备进行加
【参考文献】：
期刊论文
[1]聚氨酯抛光垫机械抛光钆镓石榴石晶片[J]. 张浩然,金洙吉,王紫光,韩晓龙. 金刚石与磨料磨具工程. 2017(02)
[2]我国节能环保产业的发展趋势[J]. 吴琦. 中国国情国力. 2017(03)
[3]“十三五”节能环保产业发展规划[J]. 有色冶金节能. 2017(01)
[4]聚氨酯/无纺布复合抛光垫的微结构控制及透水性能改进[J]. 张晓丹,成惠民,曹新宇,张京楠,马永梅. 塑料. 2016(01)
[5]宽禁带半导体β-Ga2O3单晶的研究进展[J]. 张宏哲,王林军,夏长泰,赛青林,肖海林. 人工晶体学报. 2015(11)
[6]剪切增稠抛光磨料液的制备及其抛光特性[J]. 李敏,袁巨龙,吕冰海. 光学精密工程. 2015(09)
[7]CMP过程中抛光垫表面沟槽对液膜厚度影响研究[J]. 钟静,魏昕,谢小柱,杨向东. 制造技术与机床. 2015(05)
[8]钛酸钡陶瓷基片的双面研抛加工研究[J]. 李国明,阎秋生,潘继生. 金刚石与磨料磨具工程. 2015(01)
[9]单面研磨6H-SiC单晶片的加工表面性能分析[J]. 潘继生,阎秋生,李伟. 金刚石与磨料磨具工程. 2014(06)
[10]粘弹性磁性磨具的细观力学数值模拟及实验研究[J]. 范文开,李秀红,李文辉. 现代制造工程. 2014(11)
博士论文
[1]氧化镓光电探测与信息存储器件研究[D]. 郭道友.北京邮电大学 2016
[2]Beta-氧化镓异质外延薄膜的制备及特性研究[D]. 弭伟.山东大学 2014
[3]金刚石线锯切割半导体陶瓷的机理与工艺研究[D]. 赵礼刚.南京航空航天大学 2010
[4]紫外光固化金刚石线锯制造技术研究[D]. 刘福庆.浙江工业大学 2009
硕士论文
[1]氧化镓异质外延薄膜结构与性质的关系研究[D]. 夏勇.电子科技大学 2016
[2]黏弹性阻尼随机系统最优有界控制及瞬态响应[D]. 桑超.厦门大学 2014
[3]大口径KDP晶体切片专用线锯床设计[D]. 赵庆超.山东大学 2012
[4]木复合材料热粘弹性本构研究与热成形模拟[D]. 刘雪.上海交通大学 2012
本文编号：3262679
【文章来源】：江苏大学江苏省
【文章页数】：71 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
（a）β-Ga2O3场效应晶体管横截面（b）光学显微镜俯视图
江 苏 大 学 专 业 硕 士 学 位 论 文aN制造相同结构的器件时，通常难以达到同样的指体器件的研发方面具有很大的成本优势[20]。 1.3（a）β-Ga2O3场效应晶体管横截面 （b）光学显微镜俯oss section of β-Ga2O3field effect transistor (b) Optical micro
图 2.1 导模法生长单晶氧化镓过程示意图Fig.2.1 The schematic diagram of β-Ga2O3by EF法Floating Zone Technique, FZ）是目前生长单方法采用四灯加热技术，其生长原理示意化镓粉末放入橡胶管中，经压缩并在高温红外成像炉中通过大功率光学设备进行加
【参考文献】：
期刊论文
[1]聚氨酯抛光垫机械抛光钆镓石榴石晶片[J]. 张浩然,金洙吉,王紫光,韩晓龙. 金刚石与磨料磨具工程. 2017(02)
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[3]“十三五”节能环保产业发展规划[J]. 有色冶金节能. 2017(01)
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[8]钛酸钡陶瓷基片的双面研抛加工研究[J]. 李国明,阎秋生,潘继生. 金刚石与磨料磨具工程. 2015(01)
[9]单面研磨6H-SiC单晶片的加工表面性能分析[J]. 潘继生,阎秋生,李伟. 金刚石与磨料磨具工程. 2014(06)
[10]粘弹性磁性磨具的细观力学数值模拟及实验研究[J]. 范文开,李秀红,李文辉. 现代制造工程. 2014(11)
博士论文
[1]氧化镓光电探测与信息存储器件研究[D]. 郭道友.北京邮电大学 2016
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[3]金刚石线锯切割半导体陶瓷的机理与工艺研究[D]. 赵礼刚.南京航空航天大学 2010
[4]紫外光固化金刚石线锯制造技术研究[D]. 刘福庆.浙江工业大学 2009
硕士论文
[1]氧化镓异质外延薄膜结构与性质的关系研究[D]. 夏勇.电子科技大学 2016
[2]黏弹性阻尼随机系统最优有界控制及瞬态响应[D]. 桑超.厦门大学 2014
[3]大口径KDP晶体切片专用线锯床设计[D]. 赵庆超.山东大学 2012
[4]木复合材料热粘弹性本构研究与热成形模拟[D]. 刘雪.上海交通大学 2012
本文编号：3262679
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