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吸气剂用热丝绝缘层的电泳制备技术及应用研究

发布时间:2021-07-24 16:22
  热子型吸气剂是真空电子器件内部维持真空环境的关键元件,其主要由表层吸气材料,加热丝及绝缘层三部分构成。其中,绝缘层主要起到隔离吸气材料和加热丝、保证热子型吸气剂激活一致性的关键作用。目前电泳法制备的绝缘层存在烧结温度高、涂层质量差等问题,影响了热子型吸气剂激活电流的一致性,难以满足现有真空器件对热子型吸气剂一致性、可靠性的要求。本课题针对热丝绝缘层存在的问题,系统开展了热丝绝缘层的电泳沉积工艺研究。首先研究了悬浮液成分、电泳工艺、烧结助剂及烧结工艺对涂层质量的影响。随后对优化工艺后制备的热子进行了吸气剂应用研究。研究内容及主要结论如下:(1)通过控制悬浮液中各个成分的比例,研究了悬浮液成分对电泳沉积的影响,结果表明在硝酸铈铵浓度为0.2 mg·ml-1时可以获得较高的沉积效率。添加4 wt.%比例的氧化硅制备的涂层在烧结后具有较好的表面质量;当添加氧化硅比例为8 wt.%,12 wt.%时,涂层烧结后开裂严重。通过对热丝绝缘层的成分分析发现,涂层中氧化硅的含量与悬浮液中氧化硅的含量相近,烧结后涂层中出现新相(3A1203·2Si02)。(2)通过控制电泳沉积的电压、时间、电极间距,发现... 

【文章来源】:北京有色金属研究总院北京市

【文章页数】:55 页

【学位级别】:硕士

【部分图文】:

吸气剂用热丝绝缘层的电泳制备技术及应用研究


图1.2电泳悬浮液中粒子间相互作用能随间距的变化??(5)扩散双电层形变沉积理论??

照片,吸气性能,测试台,实物


气速率”的整个期间内,吸收的气体总量(Paxn^g^。本论文采用定压法测试吸气剂??的吸气性能。测量原理是根据分子性气流通过已知流导的毛细管时,通过记录在毛细??管两端的真空腔室Pm和Pg内的气体压强差,求出样品的吸气速率和吸气量。如图2.4??为定压法吸气性能测试平台的示意图。??具体的测试步骤如下:??(1)

硝棉,悬浮液,沉积时间,浓度


配置含有不同硝棉浓度的悬浮液,控制沉积电压为30?V,沉积时间为60s,电极??间距为2?cm。通过沉积质量的变化规律,分析硝棉浓度对氧化铝颗粒电泳沉积速率??的影响。如图3.2所示,添加5%?wt.硝棉的悬浮液,其沉积质量最大,达到0.05?g^m'2。??随着悬浮液中硝棉比例的增加,氧化铝颗粒的沉积速率逐渐降低。添加25%?wt.硝棉??的悬浮液,其沉积质量仅为0.002?g_cm#2。这种现象产生的原因可能包含以下两种情??况:一是悬浮液中硝棉浓度提高后,其粘度也随之增加,在相同的电泳驱动力下,氧??化铝颗粒运动受到的阻力也更大,因而表现出沉积质量减少。另一种原因可能是硝棉??会对粒子的表面电荷状态产生了影响,悬浮液中添加不同比例的硝棉后,氧化铝颗粒??表面的荷电状态不同,所受到的电泳驱动力也不相同,最终使氧化铝颗粒的沉积速率??产生了差异。??18??

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本文编号:3301002

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