三氟化硼的制备及纯化技术研究进展

发布时间：2022-02-22 07:57

　　高纯三氟化硼是半导体离子注入用的重要掺杂离子源,在电子工业中有着广泛的应用。介绍了三氟化硼常用的制备方法及其优缺点,列举了三氟化硼的纯化方法。在实际生产过程中,企业可根据自身的情况选择合理的生产路线,结合三氟化硼粗品的杂质种类,选择合适的纯化方法,得到高纯度的三氟化硼产品。 

【文章来源】：有机氟工业. 2020,(02)

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 前言
1 三氟化硼的物化性质
2 三氟化硼的制备方法
    2.1 萤石硼酸法
    2.2 氟硼酸盐分解法
    2.3 直接氟化法
    2.4 络合物分解法
3 三氟化硼的纯化工艺
    3.1 冷阱法
    3.2 化学转化法
    3.3 低温精馏法
    3.4 吸附-精馏法
4 结语


【参考文献】：
期刊论文
[1]低温精馏法提纯三氟化硼的工艺研究[J]. 张卫江,郭玉,徐娇,王祥梅.  现代化工. 2014(09)
[2]三氟化硼的合成及工艺路线选择[J]. 康军.  辽宁化工. 2014(07)
[3]三氟化硼纯化技术研究进展[J]. 张卫江,李波,徐姣,王楠楠.  化工进展. 2012(12)
[4]三氟化硼的制备[J]. 赵国辉,张金彪,黄晓磊,赵纪峥,张景利,李贤武,鲍金强.  化学推进剂与高分子材料. 2011(05)
[5]国内高纯气体应用现状[J]. 牛丽红,于世林.  低温与特气. 2010(03)
[6]高纯三氟化硼制备技术研究[J]. 韩瑞雄,周俊波.  舰船科学技术. 2010(05)
[7]用三氟化硼气体进行离子渗硼[J]. 熊爱国,熊有平,张茵芳,王凯.  国外金属热处理. 2002(06)
[8]硼酸萤石法制备三氟化硼工艺[J]. 罗安涛,郭庆省,陈平文,王冬梅.  辽宁化工. 2002(09)
[9]电子级纯三氟化硼的研制[J]. 朱心才.  低温与特气. 1985(03)



本文编号：3639026