功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析

发布时间：2022-11-03 18:31

　　在CZ法硅单晶生长中,化料过程是原生硅固液形态转换的主要过程,由于化料阶段功率最高,也是最容易发生事故的过程,其中溅硅、漏硅等事故对石墨热场、产品品质、安全等方面有着较大的不良影响。 

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【部分图文】：

单晶炉的温度场模拟图

A、B组埚位变化情况

C、D组埚转开启情况

【参考文献】：
期刊论文
[1]直拉法硅单晶生长中断棱与掉苞问题的探讨[J]. 董建明,张波,刘进,赵科巍,罗晓斌,赵彩霞.  材料导报. 2013(S1)



本文编号：3700407