基于脉间反馈脉冲电源的硅晶体电火花线切割加工研究

发布时间：2023-01-04 19:33

　　为解决传统硅晶体电火花线切割加工伺服控制方法的缺陷,针对由进给速度和脉宽的变化导致的加工质量、形状精度变化问题,通过实验论证了脉间和放电概率之间的关系,并基于关系拟合方程确定了脉间随着实时放电概率调整的伺服控制策略;在此基础上,设计优化了脉间反馈闭环控制脉冲电源,实现了实时放电概率恒定;此外,分析了不同的进给速度、脉宽等参数对加工质量、放电概率等的影响,确定了最优加工工艺参数,并将该电源应用到普通机床中进行了实际切割加工。 

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
1 实验设备及硅晶体放电切割特性
    1.1 实验设备
    1.2 硅晶体放电切割特性
2 脉间反馈闭环控制脉冲电源原理
    2.1 放电概率检测原理
    2.2 闭环控制脉冲电源结构
    2.3 脉间伺服控制策略
3 工艺试验
    3.1 进给速度优化
    3.2 脉宽优化
    3.3 直线切割实验
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]半导体电火花加工爬坡式电流现象研究[J]. 潘慧君,刘志东,邱明波,田宗军.  中国机械工程. 2014(13)
[2]半导体电火花线切割加工电流脉冲概率特性及伺服控制研究[J]. 潘慧君,刘志东,黄赛娟,邱明波,田宗军.  电加工与模具. 2013(04)
[3]单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析[J]. 李健,刘志东,邱明波,田宗军,汪炜.  中国机械工程. 2010(07)
[4]一种新型的电火花加工间隙伺服检测方法[J]. 迟关心,狄士春,况火根.  现代制造工程. 2006(05)
[5]电火花放电加工间隙状态检测方法综述[J]. 霍孟友,张建华,艾兴.  电加工与模具. 2003(03)
[6]电火花加工中间隙放电状态检测的一种新方法[J]. 耿春明,赵万生,赵家齐,刘晋春.  电加工与模具. 2001(03)

硕士论文
[1]半导体电火花线切割加工特性及伺服控制策略研究[D]. 潘慧君.南京航空航天大学 2013



本文编号：3727806