氧化锌纳米阵列制备及气敏性能研究

发布时间：2023-02-06 15:13

　　为了研究氧化锌纳米线传感器的气敏性能,通过磁控溅射法和水热合成法制备了贵金属Pd掺杂的氧化锌纳米阵列,对制备所得的样品结构和样貌进行了分析,着重研究了掺杂对氧化锌纳米阵列气体传感器的气敏性能的影响,得到贵金属的掺杂能够提高对气体的响应度,并在一定程度上提高气体的灵敏性能。最后,分析了样品的气体传感机理。研究结果表明:在最佳温度下,金属Pd掺杂能够对原件的气敏性能进行改善。

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【文章目录】：
1 实 验
    1.1 样品制备
    1.2 表征手段
2 结 论
    2.1 结构分析
    2.2 形貌分析
    2.3 气敏性能分析
    2.4 掺杂机理分析
3 结 论



本文编号：3736136