单晶炉设备的保养与维修

发布时间：2024-02-21 01:27

　　随着太阳能、大规模集成电路的快速发展,单晶炉获得了良好发展空间。由于单晶炉运行中对于精度要求较高,设备的保养与维护显得更加重要。为此,有必要深入了解设备维护及故障现象,排查安全隐患,提升单晶炉设备稳定性。

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【文章目录】：
0 引言
1 单晶炉常见故障、原因及排除方法
    1.1 真空抽不到指标
    1.2 埚升异常
    1.3 漏硅和渗硅
    1.4 石墨件异常
    1.5 拉制异常
2 单晶炉保养与维护策略
    2.1 坩埚轴驱动部件的维修
    2.2 籽晶提拉部件的维修
    2.3 水冷系统的维修
    2.4 隔离阀的维修
    2.5 管道的维修
    2.6 谐波减速器的维修
3 结语



本文编号：3904826