PTFE/ZrAlN/Ag/ZrAlN薄膜的制备及性能研究

发布时间：2024-04-13 09:02

　　节能减排是目前人类解决环境污染最为有效的途径之一,建筑能耗占到了社会总能耗的三分之一;同时建筑能耗密切关系到人类的生产与生活,随着城市的发展和人类社会科技的进步,建筑能耗持续上升。为了解决建筑能耗问题,窗口材料成为了关健,低辐射玻璃相较其他节能玻璃,节能效果好,保温隔热系数高。但是普通的低辐射玻璃透光率不良、使用寿命短、耐腐蚀能力差、耐沾污能力差。为了进一步提高低辐射玻璃的节能效果和可见光透光率,改善低辐射玻璃的耐腐蚀能力和耐沾污能力,本文采用磁控溅射法制备了不同制备工艺参数下的增透型介质膜ZrAlN薄膜、低辐射功能膜Ag膜以及疏水附加膜PTFE薄膜,并采用紫外-可见分光光度计、四探针电阻仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、扫面电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等仪器设备对薄膜的性能、微观结构与组成成分进行了表征。并在此基础上制备了低辐射膜系结构ZrAlN(80nm)/Ag(12nm)/ZrAlN(80nm)以及疏水低辐射膜系结构PTFE(270nm)/ZrAlN(80nm)/Ag(12nm)/ZrAlN(80nm),其光学性能优异、耐腐蚀和耐沾污能力强。...

【文章页数】：90 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1.1离线低辐射玻璃的膜系基本结构

图1.1离线低辐射玻璃的膜系基本结构Fig.1.1Thebasicmembranesystemstructureoflowemissivityfilms层是低辐射薄膜中起到关键作用的一层，决定了整个膜系所达到的控制整个膜系的薄膜电阻，并且会直接影响膜系的透....

图1.2化学气象沉积法示意图

上世纪60年代开始，欧洲的玻璃制造商便利用离线生产技术将低辐射玻璃商品化；到20世纪70年代，为了提高效率满足更多的市场需求，英国人发明了高温热沉积工艺制备在线低辐射玻璃。也就是说低辐射玻璃目前的生产工艺主要有―在线法‖和―离线法‖两种。①在线低辐射玻璃[21]在线低....

图1.3磁控溅射镀膜工艺示意图

图1.3磁控溅射镀膜工艺示意图Fig1.3Diagramofcoatingglassbymagnetronsputtering在一定的真空环境下，通入一定量的氩气，使真空室内存在一定量的氩原子。真空中，电子会在靶材下方电场的作用下向基材运动，在运动过程中则会与....

图1.4玻璃的光谱曲线：4mm白玻璃（右）；4mmLow-E玻璃（左）

于长时间在室外，低辐射玻璃还要有一定的耐酸碱、耐盐、耐腐蚀能力。.2.4低辐射玻璃的节能原理[26]地球所面对的最大热源就是太阳，而携带太阳能量的就是阳光，阳光通过辐的方式传递能量。太阳辐射的波长范围约为150～4000nm，根据波长和携带能的不同，可以将太阳光分为可见光和不....

本文编号：3952798