TFT-LCD玻璃基板制造过程中的几点体会

发布时间：2024-04-23 21:09

　　TFT-LCD玻璃基板是显示产业链的关键上游材料。以中小世代溢流下拉法生产TFT-LCD玻璃基板为例,重点阐述了半成品生产的关键管控理念:质量守恒、能量守恒、电量守恒以及成型稳定的重要性,阐述了成品生产中基础管理工作的重要性,洁净管理和二次污染对质量的影响。

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【部分图文】：

图1显示产业链

TFT-LCD玻璃基板（简称玻璃基板），处于产业链上游，用在面板的TFT和CF（彩膜）上，其产业链应用如图1所示。2玻璃基板的制造流程

图2中小世代溢流下拉法生产过程示意图

目前玻璃基板的主流制造工艺有两种，即浮法和溢流下拉法。以中小世代溢流下拉法生产玻璃基板的制造流程见图2。如图2所示，半成品生产主要决定了玻璃基板的理化性能和内在指标（如翘曲、厚薄差、应力等），成品的加工生产主要决定了玻璃基板尺寸精度和板面质量这些外在指标。做好玻璃基板，就是要管好....

图3产线分区示意图

成型工序要做到四个稳定，即来料稳定、节拍稳定、功率稳定、压差稳定。来料稳定是指供料的流量和温度要稳定，它直接关系到厚度分布。节拍稳定和功率稳定牵涉到每一片玻璃的成型热历史，压差稳定事关成型和退火温度、应力大小。而这些都关系到产品的关键指标，关系到产品的一致性问题。对于后续工序而言....

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