石墨烯薄膜原子氧剥蚀行为及电阻特性
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图7石墨烯电阻随原子氧剂量变化曲线Fig.7Curveofgrapheneresistancechangingwithatomicoxygendose
号的变化不可忽视。假定温度造成薄膜剥蚀率的升高与对应电阻值升高成正比,因此可利用式(6)对电阻数据进行修正,得到25℃条件下电阻变化曲线。12T11RRE(t25)RE(6)式中:R1、R2分别为修正前后的电阻值,;t1修正前温度,℃;E为25℃条件下材料的原子氧剥蚀率,文中取8....
图1石墨烯原子氧电阻传感器Fig.1Grapheneatomicoxygenresistancesensor
石墨烯薄膜,通过试验研究原子氧作用下石墨烯薄膜结构、性能及电阻与原子氧剂量的关系,为石墨烯原子氧电阻传感器的开发提供基础数据。1试验1.1材料文中通过刮涂法制备石墨烯薄膜。首先制备氧化石墨烯(GrapheneOxide,GO)薄膜,然后通过氢碘酸(HI)化学还原方式得到石墨烯薄膜....
图3石墨烯薄膜拉曼光谱Fig.3Ramanspectraofgraphenefilm
ationrateofgraphenefilmAOfluence/(atoms·cm2)Properties3.0×10207.5×1020Massloss/mg0.601.33Thicknessloss/μm2.45.3Erosionyield/(×1025cm3·atom1)....
图4石墨烯薄膜XRD图谱Fig.4XRDspectrumofgraphenefilm
·42·装备环境工程2020年3月图4石墨烯薄膜XRD图谱Fig.4XRDspectrumofgraphenefilm表4石墨烯薄膜2θ角及片层厚度Tab.42θangleandslicethicknessofgraphenefilmAOfluence/(atoms·cm2)Pa....
本文编号:3994622
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