强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究

发布时间：2017-07-08 19:30

  本文关键词：强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究

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【摘要】：为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统。通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性。结果表明:外施场强达到600 k V/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700k V/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间。
【作者单位】： 军械工程学院静电与电磁防护研究所;中国电子科技集团第33研究所;
【关键词】： 二氧化钒薄膜 磁控溅射 强电场环境 场致相变 电导率
【分类号】：O484.4;;TB43
【正文快照】： 随着电子信息装备、电力电子系统朝着高度集成化、小型化、低功耗方向发展,先进高功率雷达等用频装备的广泛列装与使用,特别是以高功率微波[1](HPM)、超宽带(UWB)为代表的电磁脉冲武器的潜在威胁越来越大,导致战场电磁环境愈发复杂、恶劣。电磁防护[2]材料作为武器装备电磁防

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本文编号：536008