多能氦离子注入对W金属微结构的影响

发布时间：2018-04-13 01:02

  本文选题：W + He　； 参考：《金属学报》2017年01期

【摘要】：利用SEM和慢正电子束分析(SPBA)方法研究了不同注量的多能氦离子注入和注氦后不同温度退火的多晶W中He相关缺陷的演化机制。结果表明,W材料中由多能氦离子注入引入的空位型缺陷数目随着He+注量的升高而增大;220℃退火引起注氦W样品中的间隙W原子与空位的复合,降低了材料中的空位型缺陷数目;450℃和650℃退火的注氦W材料中形成了He泡,He泡尺寸与退火温度有关,650℃退火的样品中观测到直径达600 nm的大尺寸He泡和孔洞结构。
[Abstract]:The evolution mechanism of He-related defects in multi-energy helium ion implantation with different doses and annealed at different temperatures was studied by SEM and slow positron beam analysis.The results show that the number of vacancy defects induced by multi-energy helium ion implantation increases with the increase of he flux, and annealing at 220 鈩，

本文编号：1742212